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氣浮軸承轉臺在角度精度方面的差異有哪些?

2023-02-16 14:13:16

關于角度精確度

角度精確度可以通過配備標準較高的光柵尺來保證,取決于圓光柵的直徑大小,角度精確度一般在±1~±10 arc sec的范圍。如果一些特殊應用場景需要更高的角度精確度,可以通過補償的方式來實現,例如圖2的轉臺通過Autocollimator(自準直儀)的校準后,角度精確度可以達到<0.5arc sec。相比于機械軸承轉臺,機械轉臺氣浮軸承轉臺在角度精度方面的差異會更小。

關于端跳和徑跳

端跳是指任何旋轉平臺轉動的時候,轉臺的轉子臺面沿著軸心上下方向的跳動。徑跳是指轉動的時候,轉臺的轉子軸心向四周方面的跳動。這兩個誤差是任何時候任何轉臺轉動的時候都存在,只是誤差大小的區別。

機械軸承的轉臺,端跳和徑跳一般在3~5μm的范圍,個別技術領先的廠家能保證在1μm以內但可選的范圍不多,下圖為比利時LAB公司的機械轉臺的徑跳測試結果,實測數據為520.9nm。

直徑1000mm及以下規格已定型陸續備現貨,新系列改進了隔塵方式,還可選購切屑液槽,機械轉臺不但應用于高精度測量,同時可以用于高精度生產。

直徑1000mm以上提供訂貨服務,可提供大型和超大型氣浮轉臺。

每種轉臺均可配花崗巖底座,可以去掉數控部分變為手動。

詳細的外形尺寸和參數,請聯絡我公司

D400空心立臥兩用(數顯)氣浮轉臺D200手動測角氣浮轉臺D200數控轉臺(加高)D200數控轉臺

機械轉臺

機械轉臺型號:ZT-AB-D400-KX-(SX)-(H)型號:ZT-AB-D200-SD-(H)型號:ZT-AB-D200-G(-H)型號:ZT-AB-D200(-H)

外形:400*400*150外形:230*230*112外形:220*220*160外形:220*220*95

D300數控轉臺D400數控轉臺D600數控轉臺

型號:ZT-AB-D300(-H)型號:ZT-AB-D400(-H)型號:ZT-AB-D600(-H)

外形:320*320*116外形:430*430*145外形:608*608*187

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