超精密氣浮轉臺的使用方法需要遵循一系列嚴格的步驟和注意事項，以確保其正常運行和延長使用壽命。以下是整理的關于超精密氣浮轉臺使用方法的詳細介紹：
一、安裝與準備
安裝平面度要求：直線軸或旋轉軸需要安裝到一個平面度5μm的平臺基座上。
供氣氣源要求：氣浮臺的供氣氣源應是潔凈的，無水無油，固體顆粒小于0.2μm，壓力露點-20℃。三級過濾器需要定期排水（根據地域濕度不同，周/月/季檢查），并豎直安裝，定期檢查是否有油水情況，如有需打開過濾器底部開關排出。
負載臺面清潔：直線軸和轉臺負載臺面在3μm以內，需先用無水乙醇擦拭干凈后再安裝工件。
螺釘安裝：安裝螺釘時，4角固定時要對角線上螺釘，環形固定時也要對角安裝。先輕微上力，再逐步加力，參考螺釘緊固力矩標準。
二、操作與使用
通氣通電順序：轉臺應先通氣再通電，氣壓在0.5~0.6Mpa范圍內。關機時，應先斷電再斷氣。
直線軸與轉軸安裝：先用無水乙醇擦干凈，再安裝螺釘和轉接板，轉接板平面度要在3μm以內。
精度維護：超精密氣浮轉臺在運行過程中，需要保持其精度指標，包括定位精度、重復定位精度、直線度、平面度以及Pitch/Roll/Yaw等角度誤差。
三、注意事項
定期檢查與維護：需定期檢查氣浮轉臺的各項性能指標，如供氣氣源、平面度、清潔度等，確保其處于工作狀態。
避免過載：超精密氣浮轉臺負載小但精度高，應避免過載使用，以免影響其性能和壽命。
清潔與保養：定期使用無水乙醇等清潔劑對負載臺面進行清潔，以保持其精度和性能。
總結：超精密氣浮轉臺的使用方法包括安裝與準備、操作與使用以及注意事項等方面。在使用過程中，需要遵循嚴格的步驟和注意事項，以確保其正常運行和延長使用壽命。同時，定期的檢查、維護和保養也是必不可少的。
