機械轉臺氣浮運動臺作為精密設備,分為直線運動和旋轉運動,在使用時注意事項:
1機械結構部分:
1.1)直線軸或旋轉軸需要安裝到一個平面度5μm的平臺基座上。
1.2)氣浮臺的供氣氣源要是潔凈的,無水無油固體顆粒小于0.2μm,壓力露點-20℃,三級過濾器定期排水(因地域濕度不同,根據實際情況檢查,周/月/季檢查),三級過濾器要豎直安裝,定期檢查是否有油水的情況,如有,打開過濾器底部開關排出。
1.3)直線軸和轉臺負載臺面在3μm以內,先用無水乙醇擦拭干凈在安裝工件。
1.4)機械轉臺安裝的工件平面度3μm以內。
1.5)安裝螺釘時,4角固定時要對角線上螺釘,環形固定時要也對角安裝,先輕微上力,再逐步加力,參考螺釘緊固力矩標準。
1.6)轉臺先通氣再通電,氣壓在0.5~0.6Mpa,關機時先斷電再斷氣。
1.7)直線軸與轉軸安裝,先用無水乙醇擦干凈,在安裝螺釘,轉接板平面度要在3μm以內,安裝方法參考1.5。
氣浮運動臺的精度指標:
直線臺:定位精度、重復定位精度、直線度、平面度、Pitch/Roll/Yaw,見下圖。
直線度:機械轉臺在水平方向移動時于垂直水平軸線的左右方向偏差;
平面度:(又稱垂直于直線度)運動臺在水平方向移動時于垂直于水平軸線上下方向的偏差;
Pitch:圍繞X方向的角度誤差;
Roll:圍繞Y軸方向的角度誤差;
Yaw:圍繞Z方向的角度誤差。