超精密氣浮轉臺由于氣浮導軌具有高精度、低阻尼、低摩擦、無污染等優點；同時，直線電機具有無接觸、速度快、精度高、噪聲低等特點，在運動系統中能夠直接產生直線運動，避免了滾珠絲杠、螺母等中間傳動機構，實現了直接驅動。因此，直線電機和氣浮導軌的結合，能夠充分發揮各自的特點，適合應用于精密運動平臺的設計之中。但由于直線電機驅動的高速精密氣浮平臺加速度變化的不連續性以及缺少中間彈性阻尼環節，抗干擾能力較差，易產生超調和振蕩，限制了直線進給精度，難以滿足超精密加工的要求。
因此，為解決直線電機及直線氣浮運動平臺系統存在的問題，本文研究了磁流變阻尼直線電機驅動的高速精密氣浮平臺技術。研究對象主要由氣浮導軌模塊、直線電機驅動模塊和磁流變阻尼器模塊三大部分組成。具體研究內容主要包括：
1、基于Ansys有限元分析軟件平臺，采用有限元方法對氣浮導軌的特性進行分析，研究氣浮導軌在不同承載工況下空氣靜壓軸承的動反力及氣膜靜剛度的非線性變化，并建立流固耦合模態有限元分析方法對氣浮平臺的固有振動特性進行研究。
2、運用有限元分析方法對自主開發的雙邊永磁直流直線電機的磁場分布與力學特性進行分析。以此為基礎，分別采用mat lab和mat lab-Adams機電聯合分析方法研究這種直線電機的運動特性。
3、為了研究適用于直線電機驅動的氣浮平臺的阻尼器，本文對比分析了閉式磁流變阻尼器與開式電流變阻尼器的特點，設計出一種新型結構的開式磁流變阻尼器，運用有限元方法分析其磁場分布，并對其關鍵尺寸進行優化設計；對其阻尼特性與響應特性進行了實驗研究。
超精密氣浮轉臺的特點：
1.閉式氣浮結構；
2.精準回零位置；
3.軸向跳動高達10nm；
4.手動和電動旋轉時軸向和徑向跳動誤差一致；
5.高速穩定性；
6.解決氣浮轉臺抱死的問題；
7.使用壽命10年以上；
8.作為A軸可臥式使用。
