由我公司承擔的上海微電子裝備有限公司(SMEE)的光刻機計量框架和基礎框架制造任務于2017年2月13日通過預驗收與交付,這標志著我公司對于精密復雜構件的制造能力提升至一個新的臺階。
光刻機被稱為“智能制造業(yè)中的珠穆朗瑪峰”,其中的計量框架是整個光刻機的工作基準平臺,尺寸龐大(2.2m′1.9m),結構復雜,僅定位銷孔一百二十多個;螺紋孔四百多個;基礎框架是整個光刻機的基本支持體,尺寸達2.75m′1.86m′1.37m,其螺紋孔有三百多個。計量框架與基礎框架中對任何加工部位的位置、形狀、尺寸、表面形貌等要求相當高,機械轉臺正常的制造周期為6個月。由于SMEE的任務要求緊張,我公司僅用了三個月的時間完成了制造任務。2017年2月初,SMEE的質量控制人員、設計人員、工藝人員在我公司進行了驗收測試,歷經5天的時間完成了整個測試。產品經過清潔、包裝等工作,于2017年2月15日由專車運往上海。