當前標簽：高速可動刀口系統定制
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一.產品簡介VS部件實現調整光刻機光學系統中的光源現場尺寸以及視場內光強的均勻性，要求刀片掃描運動與掩膜臺掃描運動同步。二.設計原則模塊化設計原則：根據功能分解，確定模塊結構，集成化設計
