當前標簽:高速可動刀口系統(tǒng)定制
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一.產品簡介VS部件實現(xiàn)調整光刻機光學系統(tǒng)中的光源現(xiàn)場尺寸以及視場內光強的均勻性,要求刀片掃描運動與掩膜臺掃描運動同步。二.設計原則模塊化設計原則:根據(jù)功能分解,確定模塊結構,集成化設計