當前標簽：超精密激光干涉測量系統
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一.產品簡介HUE系列激光干涉儀由哈爾濱工業大學研制、哈爾濱超精密裝備工程技術中心有限公司開發，集激光器、干涉鏡組、信號處理卡、環境參數傳感器優勢于一體，實現單軸/多軸
超精密激光干
