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量程 :±21.2m（@光學(xué)二細分）±21.2m（@光學(xué)二細分）（波長 632.8nm）
測量分辨力 :1.24nm ~ 0.31nm
相對測量精度: 0.05ppm(真空下 0.002ppm)
測量速度 :最大 5.37m/s
光學(xué)非線性 :優(yōu)于±0.2nm（空間分離方案）；優(yōu)于±2nm（共光路方案）
光學(xué)熱漂移 :優(yōu)于 30nm/K
解決方案
視頻展示
一.產(chǎn)品簡介
HUE 系列激光干涉儀由哈爾濱工業(yè)大學(xué)研制、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司開發(fā)，集激光器、干涉鏡組、信號處理卡、環(huán)境參數(shù)傳感器優(yōu)勢于一體，實現(xiàn)單軸/多軸 超精密激光干涉定位與測量，可作為獨立測量儀器，或嵌入大型裝備中使用，滿足不同客戶、 不同應(yīng)用場景下的定制化測量需求。
二.技術(shù)規(guī)格
| 單軸技術(shù)參數(shù) | 被測目標 | 平面鏡/角錐棱鏡/低反射率表面（24%） |
| 里程 | ±21.2m （@光學(xué)二細分）±21.2m （@光學(xué)二細分）（波長632.8nm） | |
| 測量分辨力 | 1.24nm ~ 0.31nm | |
| 相對測量精度 | 0.05ppm（真空下 0.002ppm） | |
| 測量速度 | 最大 5.37m/s | |
| 光學(xué)非線性 | 優(yōu)于±0.2nm （空間分離方案）；優(yōu)于±2nm （共光路方案） | |
| 光學(xué)熱漂移 | 優(yōu)于30nm/K | |
| 角度容差 | 1~2mrad | |
| 測量軸數(shù) | 1 ~ 22 軸 | |
| 數(shù)據(jù)通信 | 數(shù)據(jù)接口 | USB / ISA / VME |
| 數(shù)據(jù)更新率 | 10kHz / 10MHz | |
| 工作環(huán)境 | 溫度范圍 | 18℃-25℃ （推薦值 20±1℃, 30 min 內(nèi)變化W±0.1℃） |
| 相對濕度 | 30% - 60% |
三.HUE系列超精密激光干涉測量系統(tǒng)示例
| 單軸外差激光干涉測量系統(tǒng) 可測量運動臺的一維水平位移 ① 激光器（SL 系列單頻 / XL 系列空間分離雙頻） ② 合光器（BC01 無源型 / BC02 有源型） ③ 單軸干涉鏡組（DP01-P 型，1 套） ④ 外差光電探測器 （PD02-F 型，2 套，含參考光路） ⑤ 信號處理卡（DE 系列，含機箱） ⑥ 被測目標：一維運動臺（平面鏡） 注：圖中參考光路未畫出 |
| 二軸外差激光干涉測量系統(tǒng) 可測量運動臺的二維水平位移 ① 激光器（SL 系列單頻 / XL 系列空間分離雙頻） ② 合光器（BC01 無源型 / BC02 有源型） ③ 分光鏡（BS55 型） ④ 單軸干涉鏡組（DP01-P 型，2 套） ⑤ 外差光電探測器 （PD02-F 型，3 套，含參考光路） ⑥ 信號處理卡（DE 系列，含機箱） ⑦ 被測目標：二維運動臺（平面鏡） 注：圖中參考光路未畫出 |
| 六軸外差激光干涉測量系統(tǒng) 可測量運動臺的六維位置姿態(tài) ① 激光器（SL 系列單頻 / XL 系列空間分離雙頻） ② 合光器（BC01 無源型 / BC02 有 源型） ③ 分光鏡（BS55 型） ④ 三軸干涉鏡組（DP03-P 型，2 套） ⑤ 外差光電探測器 （PD02-F 型，7 套，含參考光路） ⑥ 信號處理卡（DE 系列，含機箱） ⑦ 被測目標：六維運動臺（平面鏡） 注：圖中參考光路與 z 向目標鏡未畫出 |
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