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氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)是一種什么樣的設(shè)備?
2022-04-28
傳統(tǒng)的氣浮平臺(tái)多數(shù)采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)與滾動(dòng)絲杠相結(jié)合,將電機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)經(jīng)由絲杠轉(zhuǎn)變?yōu)榕c其相連的工作臺(tái)的直線運(yùn)動(dòng)。這種驅(qū)動(dòng)方式的缺點(diǎn)很明顯,如系統(tǒng)傳動(dòng)鏈較長(zhǎng)、結(jié)構(gòu)復(fù)雜、摩擦較大等。另外,其承載與導(dǎo)向元件一般采...
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氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的結(jié)構(gòu)形式是怎樣的?
2022-04-26
超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)由于氣浮導(dǎo)軌具有高精度、低阻尼、低摩擦、無(wú)污染等優(yōu)點(diǎn);同時(shí),直線電機(jī)具有無(wú)接觸、速度快、精度高、噪聲低等特點(diǎn),在運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)中能夠直接產(chǎn)生直線運(yùn)動(dòng),避免了滾珠絲杠、螺母等中間傳動(dòng)機(jī)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了...
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超精密制造能力展示
2022-01-19
已建成22000m2的研發(fā)及生產(chǎn)基地,包括1920㎡的超潔凈超精密裝配與測(cè)量車(chē)間,2820㎡的精密/超精密加工車(chē)間,2110㎡的精密裝校車(chē)間,約2100㎡的光電系統(tǒng)研發(fā)生產(chǎn)車(chē)間;配套超潔凈溫度/濕度控制機(jī)組,大型超精密氣浮隔微...
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基于整形環(huán)形光的橫向超分辨共焦顯微成像方法
2022-01-19
研究目的:構(gòu)建一種具有橫向光學(xué)超分辨成像特性的新型共焦顯微成像特性,解決光束合理整形問(wèn)題并突破衍射極限,實(shí)現(xiàn)一種具有橫向光學(xué)超分辨能力的共焦顯微成像技術(shù)。基本原理:應(yīng)用二元光學(xué)器件,基于衍射原理將高斯...
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基于動(dòng)靜壓復(fù)合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)技術(shù)
2022-01-19
研究目的:研究一種超精密、超高速、大載荷、高剛度的氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn),解決傳統(tǒng)氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)承載能力小、剛度低、抗擾動(dòng)能力差等問(wèn)題,以期進(jìn)一步提高氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的回轉(zhuǎn)精度,提高抗擾動(dòng)能力。基本原理:在傳統(tǒng)牛頓流...
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基于多孔徑干涉拼接的深度非球面測(cè)量技術(shù)
2022-01-19
研究目的:研究一種基于多個(gè)子孔徑干涉拼接的全域非球面超精密測(cè)量技術(shù),解決干涉儀測(cè)量范圍受限和分辨率受限問(wèn)題,實(shí)現(xiàn)局部變化較大的凸凹面深度非球面面型的高精度測(cè)量。基本原理:干涉儀對(duì)深度非球面元件進(jìn)行多次...
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