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氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)是一種什么樣的設(shè)備？
2022-04-28
傳統(tǒng)的氣浮平臺(tái)多數(shù)采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)與滾動(dòng)絲杠相結(jié)合，將電機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)經(jīng)由絲杠轉(zhuǎn)變?yōu)榕c其相連的工作臺(tái)的直線運(yùn)動(dòng)。這種驅(qū)動(dòng)方式的缺點(diǎn)很明顯，如系統(tǒng)傳動(dòng)鏈較長、結(jié)構(gòu)復(fù)雜、摩擦較大等。另外，其承載與導(dǎo)向元件一般采...
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氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的結(jié)構(gòu)形式是怎樣的？
2022-04-26
超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)由于氣浮導(dǎo)軌具有高精度、低阻尼、低摩擦、無污染等優(yōu)點(diǎn)；同時(shí)，直線電機(jī)具有無接觸、速度快、精度高、噪聲低等特點(diǎn)，在運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)中能夠直接產(chǎn)生直線運(yùn)動(dòng)，避免了滾珠絲杠、螺母等中間傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了...
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超精密制造能力展示
2022-01-19
已建成22000m2的研發(fā)及生產(chǎn)基地，包括1920㎡的超潔凈超精密裝配與測量車間，2820㎡的精密/超精密加工車間，2110㎡的精密裝校車間，約2100㎡的光電系統(tǒng)研發(fā)生產(chǎn)車間;配套超潔凈溫度/濕度控制機(jī)組，大型超精密氣浮隔微...
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基于整形環(huán)形光的橫向超分辨共焦顯微成像方法
2022-01-19
研究目的：構(gòu)建一種具有橫向光學(xué)超分辨成像特性的新型共焦顯微成像特性，解決光束合理整形問題并突破衍射極限，實(shí)現(xiàn)一種具有橫向光學(xué)超分辨能力的共焦顯微成像技術(shù)。基本原理：應(yīng)用二元光學(xué)器件，基于衍射原理將高斯...
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基于動(dòng)靜壓復(fù)合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)技術(shù)
2022-01-19
研究目的：研究一種超精密、超高速、大載荷、高剛度的氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)，解決傳統(tǒng)氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)承載能力小、剛度低、抗擾動(dòng)能力差等問題，以期進(jìn)一步提高氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的回轉(zhuǎn)精度，提高抗擾動(dòng)能力。基本原理：在傳統(tǒng)牛頓流...
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基于多孔徑干涉拼接的深度非球面測量技術(shù)
2022-01-19
研究目的：研究一種基于多個(gè)子孔徑干涉拼接的全域非球面超精密測量技術(shù)，解決干涉儀測量范圍受限和分辨率受限問題，實(shí)現(xiàn)局部變化較大的凸凹面深度非球面面型的高精度測量。基本原理：干涉儀對(duì)深度非球面元件進(jìn)行多次...
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