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產(chǎn)品中心

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超大型氣浮隔微振裝置

產(chǎn)品型號:HUE-G2631

產(chǎn)品名稱:超大型氣浮隔微振裝置

最大載荷:130t

臺體自重:154.7-1020t

最大浮起高度:40mm

位移分辨率:1μm、5μm





解決方案

產(chǎn)品手冊

  • 詳細信息
  • 產(chǎn)品概述

一.產(chǎn)品簡介

 HUE-G2631是新一代大型/超大型氣浮隔微振裝置。本產(chǎn)品是超大型基礎(chǔ)性平臺設(shè)備,可用于大型/超大型精密儀器及系統(tǒng)、光學儀器及系統(tǒng)、超精密制造裝備和工作母機等高端裝備的加工、裝調(diào)、測試與使用,在支撐大型高端和尖端超精密裝備制造和使用中具有不可替代的重要作用。

 40余項中外發(fā)明專利技術(shù)授權(quán)

 國家科技重大專項推介產(chǎn)品

 在北京空間機電研究所(5 0 8所)、哈爾濱量具刃具集團等單位應(yīng)用

 核心技術(shù)指標通過國家量儀產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心檢測

 主要核心技術(shù)指標達到國際同類產(chǎn)品領(lǐng)先水平

 臺面固有頻率0.8Hz

 臺面振動速度均方根值3μm/s


二.特征與優(yōu)勢

高分辨力與高精度的統(tǒng)一:

采用高速、高精度控制板卡控制,臺體位移精確至微米級,真正實現(xiàn)超精密控制!

本土化產(chǎn)品快速供應(yīng):

產(chǎn)品核心技術(shù)和部件均來自國內(nèi),3~4個月施工完成并調(diào)試結(jié)束,無需歷經(jīng)嚴苛復(fù)雜的進出口安全與商務(wù)審批過程!

先進控制策略:

精密氣浮隔振平臺采用主被動復(fù)合控制方式,隔振效果得到顯著提高,臺體升降過程中,保持臺體水平姿態(tài),避免精密儀器在升降過程中可能出現(xiàn)的破壞,甚至傾覆的危險!

專家級成套解決方案:

超精密級隔振平臺的隔振效果常被工作環(huán)境、對象等影響。依托本公司超精密儀器與裝備工程專家團隊,可提供超精密測量成套解決方案!


三.應(yīng)用領(lǐng)域

HUE-GZ631大型/超大型氣浮隔微振裝置可以為超精密儀器設(shè)備裝調(diào)測試提供穩(wěn)定的平臺。

我公司該產(chǎn)品目前已有18種適應(yīng)不同應(yīng)用場合的的型號產(chǎn)品;在航天、國防和高端超精密裝備制造領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用,可解決我國高端超精密裝備研制、生產(chǎn)和使用中的隔微振技術(shù)難題。隨著我國的裝備制造業(yè)向中高端發(fā)展,HUE-G2631將在我國發(fā)展該類高端超精密裝備發(fā)揮重大作用。


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四.技術(shù)規(guī)格


   隔振系統(tǒng)整體規(guī)格   

臺體自重

154.7-1020t 

最大載荷

130t

 最大浮起高度 

40mm

位移分辨率

1μm、5μm

臺體固有頻率

1.2Hz

臺體最大振動速度

3μm/s

空氣彈簧隔振器

規(guī)格

φ600-φ1000

設(shè)計載荷

11.5-32.0t

高精度、高速控制系統(tǒng)

采集電壓分辨力

3mv

控制電壓分辨力

12mv

響應(yīng)頻率

83kHz

高度測量光柵尺

測量分辨力

1μm、5μm

響應(yīng)頻率

200mm/s

主動作動器音圈電機

最大輸出力

250N

輸出力分辨力

0.06N

差動式電壓電流型功率放大器

電流分辨率

10mA

通頻帶

2kHz

速度傳感器

941B

通頻帶

0.25-100Hz

速度分辨率

4x108m/s

加速度分辨率

5x10-6m/s2

位移分辨率

4x10-8m

使用要求

工作電壓

    AC220V 50Hz  

工作氣壓

0.3-0.6MPa

 


 注:規(guī)格價格如有變更,恕不另行通知。版權(quán)所有,包括以上任何形式復(fù)制整個或部分文件的權(quán)利。

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