實際位移測量分辨力：≤0.4nm@1532.8nm
傳感探頭尺寸(最小)：≥φ4mm×12mm
激光頻率穩定度(3h)：≤50ppb
干涉儀非線性誤差：≤0.5nm
微探頭類型:準直式/匯聚式
測量對象特征:反射率≥4%
解決方案
視頻展示
一.產品簡介
HUE-F 系列光纖微探頭式激光干涉儀是哈爾濱超精密裝備工程技術中心有限公司生產的新一代 高精度嵌入式激光干涉儀。
哈爾濱工業大學最新科研成果
在國家重大專項前瞻性課題應用
5 項國際發明專利、15 項中國發明專利申請
二.HUE-F 系列產品核心技術參數如下：
實際位移測量分辨力 ≤0.4nm@1532.8nm 傳感探頭尺寸(最小) ≥φ4mm×12mm
激光頻率穩定度(3h) ≤50ppb 干涉儀非線性誤差 ≤0.5nm
微探頭類型 | 工作距離 | 測量范圍 | 測量對象特征 | 特點 |
準直式 | 1cm…1m （可定制） | 1cm????1m | 反射率≥4% | 測量范圍大 |
匯聚式 | 〉1cm （可定制） | F±5mm | 反射率≥4% | 測量光斑小 |
Note:表中F為匯聚式傳感探頭焦點距離。
三.HUE-F 系列產品特征與優勢
微型化嵌入式傳感方案！
解決了傳統激 光干涉儀難以在極狹小空間、惡劣環境 下測量的難題。測量頭體積小巧、絕不 發熱，可定制，用戶不再為難以安裝、 熱污染干擾而煩惱！
激光波長量值溯源！
波長采用 1532.8nm， 以乙炔的 P13 峰為基準，激光波長溯源 至美國國家標準與技術研究院(NIST)。
核心部件國產化！
受到外方技術封鎖，包 括激光管，信號處理卡等高精度激光干涉 儀核心部件的采購，需經外方政府機構嚴 格審查。本產品核心部件來自國內，用戶再也不用擔心因卡脖子技術難以供貨。
專家級成套解決方案！
針對不同的實際測量需求，依托本公司專家團隊，可提供超精密測量成套解決方案！
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