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非線性誤差 優(yōu)于±1nm
最大光束直徑：9mm
輸出效率：≥5%
測量點公差：平均值±0.15mm，偏差值±1mm
角度容差：±1.5mrad
光束平行度：＜50μrad （單軸測量光與參考光之間）
解決方案
視頻展示
一.產(chǎn)品簡介
DP01-P 是由哈爾濱工業(yè)大學(xué)研制、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司開發(fā)的系 列高精度單軸激光干涉鏡組。DP01-P 鏡組采用平面鏡光學(xué)四細分結(jié)構(gòu)，不同進光方案適合 不同用戶需求，適用于超精密線位移、角位移測量等各類工業(yè)應(yīng)用及科學(xué)研究場合。
二.DP01-P 型單軸激光干涉鏡組技術(shù)規(guī)格
| 測量特性 | 分辨力 | 刀4 （光學(xué)四細分） |
| 熱漂移系數(shù) | W40 nm/K | |
| 非線性誤差 | 優(yōu)于±1nm | |
| 光機特性 | 最大光束直徑 | 9mm |
| 輸出效率 | 25% | |
| 測量點公差 | 平均值±0.15mm,偏差值±1mm | |
| 角度容差 | ±1.5mrad | |
| 光束平行度 | V50Nrad （單軸測量光與參考光之間） | |
| 工作環(huán)境 | 溫度 | 可工作范圍18℃-25℃ |
| 推薦范圍20±1℃, 30 min內(nèi)變化W±0.1℃ | ||
| 相對濕度 | 30% - 60% | |
| 物理特性 | 尺寸 | 38.1mmX42.1mmX 58.1mm （包含殷鋼外殼） |
| 重量 | 0.5 kg | |
| 共振頻率 | ＞1kHz |
三.DP01-P型單軸激光干涉鏡組機械尺寸
DP01-P型單軸激光干涉鏡組機械尺寸
（圖中尺寸只做位置說明，不用于生產(chǎn)加工）
配套激光耦合頭安裝架機械尺寸
（圖中尺寸只做位置說明，不用于生產(chǎn)加工）
1.TBD系列單軸激光干涉鏡組兩具體型號機械尺寸相同。
2.入射光可由俯視圖中左側(cè)或右側(cè)通孔進入，另一孔輸出空間干涉光束，可安裝配套的干涉光束耦合器。
3.可根據(jù)實際測量需求定制干涉鏡組。
四.DP01-P型單軸激光干涉鏡組部件清單
鏡組1套（包含殷鋼保護殼）；配套耦合頭安裝架（可選）；配套耦合頭及尾纖（可選）
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