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實際位移測量分辨力：≤0.4nm@1532.8nm
傳感探頭尺寸(最小)：≥φ4mm×12mm
激光頻率穩(wěn)定度(3h)：≤50ppb
干涉儀非線性誤差：≤0.5nm
微探頭類型:準直式/匯聚式
測量對象特征:反射率≥4%
解決方案
視頻展示
一.產(chǎn)品簡介
HUE-F 系列光纖微探頭式激光干涉儀是哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司生產(chǎn)的新一代 高精度嵌入式激光干涉儀。
哈爾濱工業(yè)大學最新科研成果
在國家重大專項前瞻性課題應用
5 項國際發(fā)明專利、15 項中國發(fā)明專利申請
二.HUE-F 系列產(chǎn)品核心技術(shù)參數(shù)如下：
實際位移測量分辨力 ≤0.4nm@1532.8nm 傳感探頭尺寸(最小) ≥φ4mm×12mm
激光頻率穩(wěn)定度(3h) ≤50ppb 干涉儀非線性誤差 ≤0.5nm
微探頭類型 | 工作距離 | 測量范圍 | 測量對象特征 | 特點 |
準直式 | 1cm…1m （可定制） | 1cm????1m | 反射率≥4% | 測量范圍大 |
匯聚式 | 〉1cm （可定制） | F±5mm | 反射率≥4% | 測量光斑小 |
Note:表中F為匯聚式傳感探頭焦點距離。
三.HUE-F 系列產(chǎn)品特征與優(yōu)勢
微型化嵌入式傳感方案！
解決了傳統(tǒng)激 光干涉儀難以在極狹小空間、惡劣環(huán)境 下測量的難題。測量頭體積小巧、絕不 發(fā)熱，可定制，用戶不再為難以安裝、 熱污染干擾而煩惱！
激光波長量值溯源！
波長采用 1532.8nm， 以乙炔的 P13 峰為基準，激光波長溯源 至美國國家標準與技術(shù)研究院(NIST)。
核心部件國產(chǎn)化！
受到外方技術(shù)封鎖，包 括激光管，信號處理卡等高精度激光干涉 儀核心部件的采購，需經(jīng)外方政府機構(gòu)嚴 格審查。本產(chǎn)品核心部件來自國內(nèi)，用戶再也不用擔心因卡脖子技術(shù)難以供貨。
專家級成套解決方案！
針對不同的實際測量需求，依托本公司專家團隊，可提供超精密測量成套解決方案！
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