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實(shí)際位移測(cè)量分辨力：≤0.4nm@1532.8nm
傳感探頭尺寸(最小)：≥φ4mm×12mm
激光頻率穩(wěn)定度(3h)：≤50ppb
干涉儀非線性誤差：≤0.5nm
微探頭類型:準(zhǔn)直式/匯聚式
測(cè)量對(duì)象特征:反射率≥4%
解決方案
視頻展示
一.產(chǎn)品簡(jiǎn)介
HUE-F 系列光纖微探頭式激光干涉儀是哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司生產(chǎn)的新一代 高精度嵌入式激光干涉儀。
哈爾濱工業(yè)大學(xué)最新科研成果
在國(guó)家重大專項(xiàng)前瞻性課題應(yīng)用
5 項(xiàng)國(guó)際發(fā)明專利、15 項(xiàng)中國(guó)發(fā)明專利申請(qǐng)
二.HUE-F 系列產(chǎn)品核心技術(shù)參數(shù)如下：
實(shí)際位移測(cè)量分辨力 ≤0.4nm@1532.8nm 傳感探頭尺寸(最小) ≥φ4mm×12mm
激光頻率穩(wěn)定度(3h) ≤50ppb 干涉儀非線性誤差 ≤0.5nm
微探頭類型 | 工作距離 | 測(cè)量范圍 | 測(cè)量對(duì)象特征 | 特點(diǎn) |
準(zhǔn)直式 | 1cm…1m （可定制） | 1cm????1m | 反射率≥4% | 測(cè)量范圍大 |
匯聚式 | 〉1cm （可定制） | F±5mm | 反射率≥4% | 測(cè)量光斑小 |
Note:表中F為匯聚式傳感探頭焦點(diǎn)距離。
三.HUE-F 系列產(chǎn)品特征與優(yōu)勢(shì)
微型化嵌入式傳感方案！
解決了傳統(tǒng)激 光干涉儀難以在極狹小空間、惡劣環(huán)境 下測(cè)量的難題。測(cè)量頭體積小巧、絕不 發(fā)熱，可定制，用戶不再為難以安裝、 熱污染干擾而煩惱！
激光波長(zhǎng)量值溯源！
波長(zhǎng)采用 1532.8nm， 以乙炔的 P13 峰為基準(zhǔn)，激光波長(zhǎng)溯源 至美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院(NIST)。
核心部件國(guó)產(chǎn)化！
受到外方技術(shù)封鎖，包 括激光管，信號(hào)處理卡等高精度激光干涉 儀核心部件的采購(gòu)，需經(jīng)外方政府機(jī)構(gòu)嚴(yán) 格審查。本產(chǎn)品核心部件來(lái)自國(guó)內(nèi)，用戶再也不用擔(dān)心因卡脖子技術(shù)難以供貨。
專家級(jí)成套解決方案！
針對(duì)不同的實(shí)際測(cè)量需求，依托本公司專家團(tuán)隊(duì)，可提供超精密測(cè)量成套解決方案！
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