山東航空發動機測試儀公司
發布時間:2022-12-13 01:34:41
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科學意義及應用價值:融合了衍射光學技術和超分辨光瞳濾波技術的各自特性,其與傳統的環形透鏡式共焦測量系統相比,在達到同等橫向分辨力的情況下,由于整形環形光技術的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強度響應中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍,同時環形透鏡內環邊緣的衍射對測量系統造成的影響,橫向分辨力優于0.2μm。本技術涉及光學掃描顯微成像及微觀掃描測量技術領域,可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細結構、微臺階、微構槽、集成電路線寬等。

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HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮轉臺主要用于高精度機械、光學零部件等幾何參量和運動參量的計量檢測及分系統與整機裝配測試等。【規格與工作特性】臺面直徑范圍為中200mm一中600mm,設計有T型槽或固定孔的臺面形式,特殊需要可單獨定做;臺體承重從100kg到600kgo【結構與工作特性】HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮計量/~測量轉臺采用多項發明專利技術,進行超精密~高剛度結構設計和氣體潤滑與支承參數設計,使轉臺兼有很高的徑向、軸向和角回轉精度及高剛度特性;轉臺工作狀態平穩,在運動和定位狀態下均無氣體紊流振動、嘯叫、噪聲及高頻微振等。

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核心技術指標通過國家量儀產品質量監督檢驗中心檢測主要核心技術指標達到國際同類產品領先水平我公司該產品目前已有18種適應不同應用場合的的型號產品; 在航天、國防和高端超精密裝備制造領域有廣泛應用,可解決我國高端超精密裝備研制、生產和使用中的隔微振技術難題。隨著我國的裝備制造業向中高端發展,HUE-G2631將在我國發展該類高端超精密裝備發揮重大作用。航天發動機、航空發動機、汽車發動機陣列式氣膜微孔、燃料微噴嘴氣浮設備陣列式微孔氣足、陣列式節流微孔光東引導微口徑約束、針孔光闌m科學實驗研究校準溯源、工藝改進

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HUE--E1231是哈爾濱工業大學、哈爾濱超精密裝備工程技術中心有限公司聯合開發的新一代高精度二維轉臺。10項中國發明專利技術授權國家科技重大專項推介產品在北京空間機電研究所(508所)、沈陽航空發動機研究所等單位應用HUE--E1231型高精度二維轉臺核心技術指標均通過中國國家量儀產品質量監督檢驗中心檢測。兩軸空間垂直度優于5秒;角回轉誤差優于1秒;角定位誤差優于1秒;HUE--E1231特征與優勢高精度和大承載 采用靜壓氣浮支撐技術作為回轉軸系,轉臺軸系回轉誤差小,承載可高達數十噸。