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安徽超精密氣浮轉(zhuǎn)臺公司

發(fā)布時間:2022-12-11 01:34:52
安徽超精密氣浮轉(zhuǎn)臺公司

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由我公司承擔的上海微電子裝備有限公司(SMEE)的光刻機計量框架和基礎框架制造任務于2017年2月13日通過預驗收與交付,這標志著我公司對于精密復雜構(gòu)件的制造能力提升至一個新的臺階。光刻機被稱為“智能制造業(yè)中的珠穆朗瑪峰”,其中的計量框架是整個光刻機的工作基準平臺,尺寸龐大(2.2m′1.9m),結(jié)構(gòu)復雜,僅定位銷孔一百二十多個;螺紋孔四百多個;基礎框架是整個光刻機的基本支持體,尺寸達2.75m′1.86m′1.37m,其螺紋孔有三百多個。計量框架與基礎框架中對任何加工部位的位置、形狀、尺寸、表面形貌等要求相當高,正常的制造周期為6個月。

安徽超精密氣浮轉(zhuǎn)臺公司

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圓柱度、直線度、垂直度、同軸度和同心度等幾何參量進行測量,并能進行相關分析??蓮V泛用于航空航天、船舶、國防、汽車、軸承等各類精密裝備***造領域。基準型圓柱度測量儀可用于計量部門,開展圓柱度量值的傳遞與溯源工作儀器特色:超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準主軸精度是圓柱度儀回轉(zhuǎn)基準的重要指標。經(jīng)過優(yōu)化設計的圓柱度儀的空氣靜壓軸系采用本所專利技術(shù),經(jīng)特殊加工工藝研制,因此保證了儀器主軸具有超精密級的軸向與徑向回轉(zhuǎn)精度(0.015~0.05μm)、角回轉(zhuǎn)精度(0.02~0.1″)和高承載與高剛度兼顧性能,保障了儀器具有高可靠性和長久的使用壽命。

安徽超精密氣浮轉(zhuǎn)臺公司

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HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺主要用于高精度機械、光學零部件等幾何參量和運動參量的計量檢測及分系統(tǒng)與整機裝配測試等?!疽?guī)格與工作特性】臺面直徑范圍為中200mm一中600mm,設計有T型槽或固定孔的臺面形式,特殊需要可單獨定做;臺體承重從100kg到600kgo【結(jié)構(gòu)與工作特性】HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮計量/~測量轉(zhuǎn)臺采用多項發(fā)明專利技術(shù),進行超精密~高剛度結(jié)構(gòu)設計和氣體潤滑與支承參數(shù)設計,使轉(zhuǎn)臺兼有很高的徑向、軸向和角回轉(zhuǎn)精度及高剛度特性;轉(zhuǎn)臺工作狀態(tài)平穩(wěn),在運動和定位狀態(tài)下均無氣體紊流振動、嘯叫、噪聲及高頻微振等。

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超精密制造已建成22000m2的研發(fā)及生產(chǎn)基地,包括1920㎡的超潔凈超精密裝配與測量車間,2820㎡的精密/超精密加工車間,2110㎡的精密裝校車間,約2100㎡的光電系統(tǒng)研發(fā)生產(chǎn)車間;配套超潔凈溫度/濕度控制機組,大型超精密氣浮隔微振設施,三坐標行吊車等配套設施。投資7000余萬元購置德國五軸聯(lián)動數(shù)控鏜銑加工中心、美國摩爾坐標磨床,光學曲線磨床,精密平面磨床,立式加工中心,三坐標等大型精密/超精密加工與測量設備70余臺(套),具備了設計、研發(fā)、中試和生產(chǎn)大型高端超精密儀器與裝備產(chǎn)品的能力。公司已通過GJB9001B-2009《質(zhì)量管理體系》認證,以顧客為關注焦點,與客戶廣交朋友,不斷持續(xù)改進,以顧客滿意為目標。

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專家稱,精密檢測儀器本身是整個行業(yè)的糧草,而軟件則又是儀器的核心。所以我們要想讓整個的精密檢測儀器行業(yè)的發(fā)展取得長足的進步,那么我們就要保證精密測量軟件的不斷更新和發(fā)展,為儀器的檢測提供技術(shù)的支持。隨著國際市場需求的不斷擴大,與人們生活息息相關的試驗機行業(yè)也得到了迅猛的發(fā)展,但由于技術(shù)及創(chuàng)新等方面的原因,國內(nèi)試驗機行業(yè)與國外仍有巨大的差距,關鍵核心技術(shù)匱乏,低水平重復,產(chǎn)品的穩(wěn)定性及可靠性得不到根本的解決,在高端精密儀器上仍嚴重依賴進口,大量進口對產(chǎn)業(yè)發(fā)展造成不利影響。

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