安徽超精密氣浮轉臺公司
發布時間：2022-12-11 01:34:52
安徽超精密氣浮轉臺公司
由我公司承擔的上海微電子裝備有限公司(SMEE)的光刻機計量框架和基礎框架制造任務于2017年2月13日通過預驗收與交付，這標志著我公司對于精密復雜構件的制造能力提升至一個新的臺階。光刻機被稱為“智能制造業中的珠穆朗瑪峰”，其中的計量框架是整個光刻機的工作基準平臺，尺寸龐大(2.2m′1.9m)，結構復雜，僅定位銷孔一百二十多個；螺紋孔四百多個；基礎框架是整個光刻機的基本支持體，尺寸達2.75m′1.86m′1.37m，其螺紋孔有三百多個。計量框架與基礎框架中對任何加工部位的位置、形狀、尺寸、表面形貌等要求相當高，正常的制造周期為6個月。
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圓柱度、直線度、垂直度、同軸度和同心度等幾何參量進行測量，并能進行相關分析。可廣泛用于航空航天、船舶、國防、汽車、軸承等各類精密裝備***造領域。基準型圓柱度測量儀可用于計量部門，開展圓柱度量值的傳遞與溯源工作儀器特色：超精密氣浮回轉基準主軸精度是圓柱度儀回轉基準的重要指標。經過優化設計的圓柱度儀的空氣靜壓軸系采用本所專利技術，經特殊加工工藝研制，因此保證了儀器主軸具有超精密級的軸向與徑向回轉精度(0.015~0.05μm)、角回轉精度(0.02~0.1″)和高承載與高剛度兼顧性能，保障了儀器具有高可靠性和長久的使用壽命。
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HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮轉臺主要用于高精度機械、光學零部件等幾何參量和運動參量的計量檢測及分系統與整機裝配測試等。【規格與工作特性】臺面直徑范圍為中200mm一中600mm，設計有T型槽或固定孔的臺面形式，特殊需要可單獨定做;臺體承重從100kg到600kgo【結構與工作特性】HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮計量/~測量轉臺采用多項發明專利技術，進行超精密~高剛度結構設計和氣體潤滑與支承參數設計，使轉臺兼有很高的徑向、軸向和角回轉精度及高剛度特性;轉臺工作狀態平穩，在運動和定位狀態下均無氣體紊流振動、嘯叫、噪聲及高頻微振等。
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超精密制造已建成22000m2的研發及生產基地，包括1920㎡的超潔凈超精密裝配與測量車間，2820㎡的精密/超精密加工車間，2110㎡的精密裝校車間，約2100㎡的光電系統研發生產車間;配套超潔凈溫度/濕度控制機組，大型超精密氣浮隔微振設施，三坐標行吊車等配套設施。投資7000余萬元購置德國五軸聯動數控鏜銑加工中心、美國摩爾坐標磨床，光學曲線磨床，精密平面磨床，立式加工中心，三坐標等大型精密/超精密加工與測量設備70余臺(套)，具備了設計、研發、中試和生產大型高端超精密儀器與裝備產品的能力。公司已通過GJB9001B-2009《質量管理體系》認證，以顧客為關注焦點，與客戶廣交朋友，不斷持續改進，以顧客滿意為目標。
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專家稱，精密檢測儀器本身是整個行業的糧草，而軟件則又是儀器的核心。所以我們要想讓整個的精密檢測儀器行業的發展取得長足的進步，那么我們就要保證精密測量軟件的不斷更新和發展，為儀器的檢測提供技術的支持。隨著國際市場需求的不斷擴大，與人們生活息息相關的試驗機行業也得到了迅猛的發展，但由于技術及創新等方面的原因，國內試驗機行業與國外仍有巨大的差距，關鍵核心技術匱乏，低水平重復，產品的穩定性及可靠性得不到根本的解決，在高端精密儀器上仍嚴重依賴進口，大量進口對產業發展造成不利影響。