佳木斯機械轉(zhuǎn)臺公司
發(fā)布時間：2022-11-24 01:35:09
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由于SMEE的任務要求緊張，我公司僅用了三個月的時間完成了制造任務。2017年2月初，SMEE的質(zhì)量控制人員、設計人員、工藝人員在我公司進行了驗收測試，歷經(jīng)5天的時間完成了整個測試。產(chǎn)品經(jīng)過清潔、包裝等工作，于2017年2月15日由專車運往上海。新春伊始北京大學教授、中國科學院程和平院士一行在完成了對哈工大的訪問之后,于2017年2月15日,在譚久彬的陪同下到我公司參觀考察。程和平院士一行聽取了譚久彬教授關于公司基礎能力、研發(fā)能力、生產(chǎn)能力、典型產(chǎn)品等情況的介紹，考察了極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝專項、國家重大科學儀器研發(fā)專項等的研制情況。
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基本原理：在傳統(tǒng)牛頓流體的雷諾方程基礎上，將惠普爾理論與壓力對數(shù)分布假設相結(jié)合，對傳統(tǒng)氣體潤滑理論進行修正和完善。建立基于動靜壓復合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(CTGB)的歸一化解析模型，在以剛度為目標函數(shù)的前提下，對結(jié)構(gòu)參數(shù)進行全局優(yōu)化，從而得到基于動靜壓復合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準的結(jié)構(gòu)參數(shù)?？茖W意義及應用價值：對超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準中動靜壓之間的耦合規(guī)律進行建模。解析表述了動靜壓之間的壓力耦合、結(jié)構(gòu)耦合以及壓力與結(jié)構(gòu)之間的交叉耦合。該技術大幅度提高了氣浮回轉(zhuǎn)基準的剛度、承載能力和抗擾動能力，提高了氣浮回轉(zhuǎn)基準的綜合性能。實驗表明：與傳統(tǒng)氣浮回轉(zhuǎn)基準(STGB)相比，承載能力提高4倍以上，剛度提高6倍以上，流量略有增大，性能曲線對比見Fig.1-3。
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HUE--D1331系列超精密氣浮導軌主要用于高精度測量儀器、光學檢測儀器、精密/超精密光機電一體化裝備、精密/超精密機床等先進裝備制造領域，是精密/超精密儀器與制造裝備中保證高精度直線運動導向和定位的關鍵部件。HHUE--D1331氣浮導軌已成系列，其有效行程從50mm至3000mm截面尺寸主要從50mm×50mm至250mm×350mm(見表2);該系列氣浮導軌具有優(yōu)異的直線運動精度和良好的剛度，直線運動誤差小于0.03μm~0.1μm/50mm，0.05μm~0.2μm/100mm等。特殊需求可單獨設計。
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核心技術指標通過國家量儀產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心檢測主要核心技術指標達到國際同類產(chǎn)品領先水平我公司該產(chǎn)品目前已有18種適應不同應用場合的的型號產(chǎn)品; 在航天、國防和高端超精密裝備制造領域有廣泛應用，可解決我國高端超精密裝備研制、生產(chǎn)和使用中的隔微振技術難題。隨著我國的裝備制造業(yè)向中高端發(fā)展，HUE-G2631將在我國發(fā)展該類高端超精密裝備發(fā)揮重大作用。航天發(fā)動機、航空發(fā)動機、汽車發(fā)動機陣列式氣膜微孔、燃料微噴嘴氣浮設備陣列式微孔氣足、陣列式節(jié)流微孔光東引導微口徑約束、針孔光闌m科學實驗研究校準溯源、工藝改進
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研究目的：研究一種多點并行曝光、且曝光面上各曝光點曝光可控及曝光強度宏微雙重可調(diào)的高分辨力的激光直接寫入新技術，以解決傳統(tǒng)激光直寫單點曝光制作效率低的問題，提高微陣列和微結(jié)構(gòu)光學器件的制作效率?；驹恚憾喙獍呖煽夭⑿屑す庵睂懙幕舅枷胧且晕⒐鈱W鏡陣列作為直寫物鏡，將寫入激光分別聚焦為多個高分辨力寫入光斑，以分散直寫任務;利用數(shù)字微鏡DMD控制各子光斑是否曝光，并采用聲光調(diào)制器進行宏微雙重調(diào)制寫入光強。