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長(zhǎng)春航空發(fā)動(dòng)機(jī)測(cè)試儀定制

發(fā)布時(shí)間:2022-10-24 01:35:58
長(zhǎng)春航空發(fā)動(dòng)機(jī)測(cè)試儀定制

長(zhǎng)春航空發(fā)動(dòng)機(jī)測(cè)試儀定制

超精密氣浮直線基準(zhǔn)圓柱度和直線度的測(cè)量,不僅要求儀器主軸的回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)精度高,直線運(yùn)動(dòng)基準(zhǔn)的精度要求也非常高。經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計(jì)的圓柱度儀導(dǎo)軌結(jié)構(gòu),提供了極高的直線運(yùn)動(dòng)精度(0.05~0.1μm/100mm),在整體結(jié)構(gòu)上進(jìn)行了精心設(shè)計(jì),保障了儀器整體具有非常高的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。穩(wěn)定的花崗巖基座圓柱度儀的基座采用天然花崗巖材質(zhì),經(jīng)過億萬年老化沉積,花崗巖材質(zhì)質(zhì)地均勻,強(qiáng)度高,應(yīng)力變形小,對(duì)溫度敏感性小。經(jīng)過精加工保證各零、部件的機(jī)械位置,基座具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和剛度。

長(zhǎng)春航空發(fā)動(dòng)機(jī)測(cè)試儀定制

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精密檢測(cè)儀器與我們的日常生活息息相關(guān),但很多人對(duì)此并不甚了解。精密檢測(cè)儀器自上世紀(jì)九十年代起開始在國(guó)內(nèi)被廣泛使用,成為檢測(cè)工業(yè)產(chǎn)品必備的設(shè)備。在經(jīng)歷了簡(jiǎn)單的投影儀、二次元影像測(cè)量?jī)x、高端三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)這三個(gè)發(fā)展階段之后,目前的精密檢測(cè)儀器更加趨向于智能化、自動(dòng)化和集成化,解決了人工肉精密檢測(cè)儀器與我們的日常生活息息相關(guān),但很多人對(duì)此并不甚了解。精密檢測(cè)儀器自上世紀(jì)九十年代起開始在國(guó)內(nèi)被廣泛使用,成為檢測(cè)工業(yè)產(chǎn)品必備的設(shè)備。

長(zhǎng)春航空發(fā)動(dòng)機(jī)測(cè)試儀定制

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基本原理:干涉儀對(duì)深度非球面元件進(jìn)行多次局部檢測(cè),兩次測(cè)量區(qū)域之間有一定的重疊。將每?jī)纱螜z測(cè)重疊部分的相位值經(jīng)過擬合統(tǒng)一到一個(gè)曲面上,這樣可不斷地將測(cè)量范圍擴(kuò)大,從而獲得整個(gè)待測(cè)元件表面輪廓。拼接的理論依據(jù)是在重疊區(qū)域內(nèi),兩次測(cè)量得到的波前相位值是一致的,即兩次測(cè)量相位數(shù)據(jù)位于同一個(gè)曲面上。而在實(shí)際測(cè)量過程中,則需要傾斜、位移、離焦和振動(dòng)干擾等誤差影響,并依據(jù)一種高精度的多子孔徑干涉拼接測(cè)量模型,實(shí)現(xiàn)全域凸凹深度非球面形狀的測(cè)量與評(píng)定。

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由我公司承擔(dān)的上海微電子裝備有限公司(SMEE)的光刻機(jī)計(jì)量框架和基礎(chǔ)框架制造任務(wù)于2017年2月13日通過預(yù)驗(yàn)收與交付,這標(biāo)志著我公司對(duì)于精密復(fù)雜構(gòu)件的制造能力提升至一個(gè)新的臺(tái)階。光刻機(jī)被稱為“智能制造業(yè)中的珠穆朗瑪峰”,其中的計(jì)量框架是整個(gè)光刻機(jī)的工作基準(zhǔn)平臺(tái),尺寸龐大(2.2m′1.9m),結(jié)構(gòu)復(fù)雜,僅定位銷孔一百二十多個(gè);螺紋孔四百多個(gè);基礎(chǔ)框架是整個(gè)光刻機(jī)的基本支持體,尺寸達(dá)2.75m′1.86m′1.37m,其螺紋孔有三百多個(gè)。計(jì)量框架與基礎(chǔ)框架中對(duì)任何加工部位的位置、形狀、尺寸、表面形貌等要求相當(dāng)高,正常的制造周期為6個(gè)月。

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在經(jīng)歷了簡(jiǎn)單的投影儀、二次元影像測(cè)量?jī)x、高端三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)這三個(gè)發(fā)展階段之后,目前的精密檢測(cè)儀器更加趨向于智能化、自動(dòng)化和集成化,解決了人工肉眼和卡尺卡規(guī)檢測(cè)的局限性。精密檢測(cè)儀器被廣泛應(yīng)用在工業(yè)產(chǎn)品的檢測(cè)上,隨著國(guó)內(nèi)工業(yè)的發(fā)展,精密檢測(cè)儀器的市場(chǎng)需求不斷增加。精密檢測(cè)儀器目前已成為工業(yè)發(fā)展不可或缺的一個(gè)產(chǎn)業(yè),是新興產(chǎn)業(yè)中高速發(fā)展的一個(gè)行業(yè)。新時(shí)代,更多的產(chǎn)品需要提供三維檢測(cè),這樣才能更好的為現(xiàn)代社會(huì)的發(fā)展提供服務(wù),所以國(guó)內(nèi)的精密檢測(cè)企業(yè)就在二次元影像儀的基礎(chǔ)上研發(fā)生產(chǎn)了三坐標(biāo)測(cè)量機(jī),從而實(shí)現(xiàn)更高端的產(chǎn)品的三維檢測(cè)任務(wù)。

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