海南超精密氣浮轉臺公司
發布時間：2022-10-16 01:36:14
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基本原理：在傳統牛頓流體的雷諾方程基礎上，將惠普爾理論與壓力對數分布假設相結合，對傳統氣體潤滑理論進行修正和完善。建立基于動靜壓復合的超精密氣浮回轉基準(CTGB)的歸一化解析模型，在以剛度為目標函數的前提下，對結構參數進行全局優化，從而得到基于動靜壓復合的超精密氣浮回轉基準的結構參數?？茖W意義及應用價值：對超精密氣浮回轉基準中動靜壓之間的耦合規律進行建模。解析表述了動靜壓之間的壓力耦合、結構耦合以及壓力與結構之間的交叉耦合。該技術大幅度提高了氣浮回轉基準的剛度、承載能力和抗擾動能力，提高了氣浮回轉基準的綜合性能。實驗表明：與傳統氣浮回轉基準(STGB)相比，承載能力提高4倍以上，剛度提高6倍以上，流量略有增大，性能曲線對比見Fig.1-3。
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因此，高端通用試驗儀器設備。將集中力量，重點突破一批我國需求量大、嚴重依賴進口、價格昂貴的試驗儀器設備，攻克若干試驗儀器設備核心技術和關鍵部件，帶動重要領域試驗儀器設備整體水平提升，打破國外壟斷。第二，前沿重大試驗儀器設備。將依據我國在世界新一輪科技革命中的戰略部署，研發若干具有國際領先水平的重大試驗儀器設備，有效支撐我國開展世界一流科學研究、有特色科學研究，帶動高新技術產業發展。
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HUE-G2631是哈爾濱工業大學、哈爾濱超精密裝備工程技術中心有限公司聯合開發的新一代大型/超大型氣浮隔微振裝置。本產品是超大型基礎性平臺設備，可用于大型/超大型精密儀器及系統、光學儀器及系統、超精密制造裝備和工作母機等高端裝備的加工、裝調、測試與使用，在支撐大型高端和尖端超精密裝備制造和使用中具有不可替代的重要作用。30余項中外發明專利技術授權國家科技重大專項推介產品在北京空間機電研究所(5 0 8所)、哈爾濱量具刃具集團等單位應用
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由于SMEE的任務要求緊張，我公司僅用了三個月的時間完成了制造任務。2017年2月初，SMEE的質量控制人員、設計人員、工藝人員在我公司進行了驗收測試，歷經5天的時間完成了整個測試。產品經過清潔、包裝等工作，于2017年2月15日由專車運往上海。新春伊始北京大學教授、中國科學院程和平院士一行在完成了對哈工大的訪問之后,于2017年2月15日,在譚久彬的陪同下到我公司參觀考察。程和平院士一行聽取了譚久彬教授關于公司基礎能力、研發能力、生產能力、典型產品等情況的介紹，考察了極大規模集成電路制造裝備及成套工藝專項、國家重大科學儀器研發專項等的研制情況。
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科學意義及應用價值：融合了衍射光學技術和超分辨光瞳濾波技術的各自特性，其與傳統的環形透鏡式共焦測量系統相比，在達到同等橫向分辨力的情況下，由于整形環形光技術的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強度響應中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍，同時環形透鏡內環邊緣的衍射對測量系統造成的影響，橫向分辨力優于0.2μm。本技術涉及光學掃描顯微成像及微觀掃描測量技術領域，可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細結構、微臺階、微構槽、集成電路線寬等。
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HUE--E1231是哈爾濱工業大學、哈爾濱超精密裝備工程技術中心有限公司聯合開發的新一代高精度二維轉臺。10項中國發明專利技術授權國家科技重大專項推介產品在北京空間機電研究所(508所)、沈陽航空發動機研究所等單位應用HUE--E1231型高精度二維轉臺核心技術指標均通過中國國家量儀產品質量監督檢驗中心檢測。兩軸空間垂直度優于5秒;角回轉誤差優于1秒;角定位誤差優于1秒;HUE--E1231特征與優勢高精度和大承載 采用靜壓氣浮支撐技術作為回轉軸系，轉臺軸系回轉誤差小，承載可高達數十噸。