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發(fā)布時間：2022-10-01 01:36:01
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磁懸浮主軸技術(shù)，永磁、電磁和氣浮結(jié)合的控制方案也一直在研究中。多孔材料的氣浮軸承可以提高氣浮軸承的剛度。液體靜壓軸承具有剛度高、動態(tài)特性好等特點，但發(fā)熱是其致命的弱點，水靜壓軸承的研制正是針對這一問題進行的。與油靜壓軸承相比，這種軸承的優(yōu)點是軸承發(fā)熱較小，適合于高速運轉(zhuǎn)，而且沒有污染，特別適合硅片加工等行業(yè)。精密滾珠絲杠是超精密機床驅(qū)動采用的常規(guī)方式，但是這種方式存在許多缺點，限制了運動精度的進一步提高。為此，氣浮絲杠和液體靜壓絲杠在一些日本研制的超精密機床上得到了應(yīng)用，但是采用這種傳動方式的零件加工工藝極其復雜，限制了其應(yīng)用。
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HUE-X931是哈爾濱工業(yè)大學、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開發(fā)的新一代高空間分辨率光學共焦顯微鏡。 產(chǎn)品系大型高端科學儀器，綜合了國內(nèi)外優(yōu)勢技術(shù)方案，技術(shù)密集度極高，能夠?qū)崿F(xiàn)對各類樣品表面微結(jié)構(gòu)的高分辨率三維測量。使用環(huán)境，溫度要求：20℃±1℃;濕度要求：小于60%RH;隔振要求：儀器應(yīng)放在隔振基礎(chǔ)上，周圍無劇烈振動和沖擊;電磁場要求：使用現(xiàn)場周圍無強電磁干擾。
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核心技術(shù)指標通過國家量儀產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心檢測主要核心技術(shù)指標達到國際同類產(chǎn)品領(lǐng)先水平我公司該產(chǎn)品目前已有18種適應(yīng)不同應(yīng)用場合的的型號產(chǎn)品; 在航天、國防和高端超精密裝備制造領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用，可解決我國高端超精密裝備研制、生產(chǎn)和使用中的隔微振技術(shù)難題。隨著我國的裝備制造業(yè)向中高端發(fā)展，HUE-G2631將在我國發(fā)展該類高端超精密裝備發(fā)揮重大作用。航天發(fā)動機、航空發(fā)動機、汽車發(fā)動機陣列式氣膜微孔、燃料微噴嘴氣浮設(shè)備陣列式微孔氣足、陣列式節(jié)流微孔光東引導微口徑約束、針孔光闌m科學實驗研究校準溯源、工藝改進
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用途HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺主要用于大型和超大型精密機械、光學精密零部件的幾何參量或部件及整機運動參量的計量檢測、以及大型精密裝備分系統(tǒng)和整機裝配測試等。規(guī)格與工作特性HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺臺面直徑范圍為①700mm～①3000，mm，設(shè)計有T型槽或固定子L的臺面形式，特殊需要可單獨定做；臺體承重從800kg到20000kg，（技術(shù)指標見附表）。結(jié)構(gòu)與工作特性HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺配置精密氣浮軸系，兼有高回轉(zhuǎn)精度、高剛度和高承載能力等特點。轉(zhuǎn)臺高精度旋轉(zhuǎn)時無噪聲、無振動、運動平穩(wěn)。