福建超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)定制
發(fā)布時(shí)間：2022-09-20 01:36:14
福建超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)定制
在經(jīng)歷了簡(jiǎn)單的投影儀、二次元影像測(cè)量?jī)x、高端三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)這三個(gè)發(fā)展階段之后，目前的精密檢測(cè)儀器更加趨向于智能化、自動(dòng)化和集成化，解決了人工肉眼和卡尺卡規(guī)檢測(cè)的局限性。精密檢測(cè)儀器被廣泛應(yīng)用在工業(yè)產(chǎn)品的檢測(cè)上，隨著國(guó)內(nèi)工業(yè)的發(fā)展，精密檢測(cè)儀器的市場(chǎng)需求不斷增加。精密檢測(cè)儀器目前已成為工業(yè)發(fā)展不可或缺的一個(gè)產(chǎn)業(yè)，是新興產(chǎn)業(yè)中高速發(fā)展的一個(gè)行業(yè)。新時(shí)代，更多的產(chǎn)品需要提供三維檢測(cè)，這樣才能更好的為現(xiàn)代社會(huì)的發(fā)展提供服務(wù)，所以國(guó)內(nèi)的精密檢測(cè)企業(yè)就在二次元影像儀的基礎(chǔ)上研發(fā)生產(chǎn)了三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，從而實(shí)現(xiàn)更高端的產(chǎn)品的三維檢測(cè)任務(wù)。
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研究目的：研究一種多點(diǎn)并行曝光、且曝光面上各曝光點(diǎn)曝光可控及曝光強(qiáng)度宏微雙重可調(diào)的高分辨力的激光直接寫入新技術(shù)，以解決傳統(tǒng)激光直寫單點(diǎn)曝光制作效率低的問題，提高微陣列和微結(jié)構(gòu)光學(xué)器件的制作效率。基本原理：多光斑可控并行激光直寫的基本思想是以微光學(xué)鏡陣列作為直寫物鏡，將寫入激光分別聚焦為多個(gè)高分辨力寫入光斑，以分散直寫任務(wù);利用數(shù)字微鏡DMD控制各子光斑是否曝光，并采用聲光調(diào)制器進(jìn)行宏微雙重調(diào)制寫入光強(qiáng)。
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李力一行還考察了可調(diào)諧(氣體)激光重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，聽取了實(shí)驗(yàn)室主要研究方向、研究?jī)?nèi)容介紹。李力肯定了項(xiàng)目進(jìn)展情況，并鼓勵(lì)科研人員努力工作，確保項(xiàng)目順利完成。為做好國(guó)家首批國(guó)家重大科學(xué)儀器開發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目驗(yàn)收工作，6月26日至27日，科技部科研條件與財(cái)務(wù)司副司長(zhǎng)吳學(xué)梯、工業(yè)和信息化部科技司副司長(zhǎng)李力先后來(lái)我公司考察，了解我公司的國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目。工業(yè)和信息化部、省工信委相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)，我公司董事長(zhǎng)等參加現(xiàn)場(chǎng)考察。
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其原理如圖所示。寫入激光經(jīng)過調(diào)制穩(wěn)光、準(zhǔn)直擴(kuò)束后，平行入射到DMD上，被其調(diào)制編碼、分束成獨(dú)立的光陣列;再經(jīng)4?空間濾波系統(tǒng)濾波后，被微光學(xué)陣列中相匹配的子鏡聚焦到涂有光刻膠的基底平臺(tái)上，從而實(shí)現(xiàn)寫入曝光;在寫入光被調(diào)制的同時(shí)，基底平臺(tái)作光柵或回轉(zhuǎn)掃描，實(shí)現(xiàn)微陣列和微結(jié)構(gòu)光學(xué)器件的曝光制作。科學(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值：利用微光學(xué)陣列替換傳統(tǒng)的直寫物鏡，實(shí)現(xiàn)多光路并行同步寫入，有效提高了寫入效率;同時(shí)由于微光學(xué)透鏡與傳統(tǒng)物鏡相比，像差小、制作容易、易獲得大數(shù)值孔徑，可極大地提高寫入分辨力。
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精密液壓卡盤是為航空發(fā)動(dòng)機(jī)精密裝配測(cè)量?jī)x研發(fā)的專用精密定位部件。其精密液壓機(jī)械結(jié)構(gòu)緊湊，夾緊力可控，夾緊范圍和結(jié)構(gòu)尺寸根據(jù)具體規(guī)格專門設(shè)計(jì)，可廣泛應(yīng)用于航空發(fā)動(dòng)機(jī)的研發(fā)、制造和維修領(lǐng)域。該卡盤系機(jī)/液一體化精密機(jī)械部件，是直接裝卡發(fā)動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)子軸的專用工裝，靠液壓傳遞夾緊力，靠同步柔性微變形機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)精密定位。該卡盤分單環(huán)和雙環(huán)兩種，分別為不同型號(hào)發(fā)動(dòng)機(jī)所用。該卡盤與超精密氣浮軸系同軸安裝成回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)和裝夾一體化系統(tǒng)，用于發(fā)動(dòng)機(jī)的裝配與檢測(cè)。