鶴崗航空發動機測試儀廠家
發布時間:2022-09-13 01:36:33
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在保證焦斑質量的同時,可獲得大的曝光區域;引入光強宏微雙重調制裝置,提高了曝光光強的調制分辨力,從而解決控制輪廓精度的問題;通過空間光調制器依據像素部對寫入激光分束,解決了多光路并行同步直寫光束的控制問題。該技術特別適用于微陣列和微結構光學器件制作,具有大范圍、高精度激光寫入的優點。研究目的:研究一種基于多個子孔徑干涉拼接的全域非球面超精密測量技術,解決干涉儀測量范圍受限和分辨率受限問題,實現局部變化較大的凸凹面深度非球面面型的高精度測量。

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科學意義及應用價值:融合了衍射光學技術和超分辨光瞳濾波技術的各自特性,其與傳統的環形透鏡式共焦測量系統相比,在達到同等橫向分辨力的情況下,由于整形環形光技術的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強度響應中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍,同時環形透鏡內環邊緣的衍射對測量系統造成的影響,橫向分辨力優于0.2μm。本技術涉及光學掃描顯微成像及微觀掃描測量技術領域,可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細結構、微臺階、微構槽、集成電路線寬等。

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先進控制策略 高精度二維轉臺采用無刷直流電機驅動;結合高精度碼盤構成位置閉環伺服系統,角位置定位精度可優于1角秒;并配有高穩定性數顯系統本土化產品快速供應!產品核心技術和部件均來自國內,3~4個月施工完成并調試結束,無需歷經嚴苛復雜的進出口安全與商務審批過程!專家級成套解決方案!依托本公司超精密儀器與裝備工程專家團隊,可提供超精密轉臺定制解決方案!

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HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮轉臺主要用于高精度機械、光學零部件等幾何參量和運動參量的計量檢測及分系統與整機裝配測試等。【規格與工作特性】臺面直徑范圍為中200mm一中600mm,設計有T型槽或固定孔的臺面形式,特殊需要可單獨定做;臺體承重從100kg到600kgo【結構與工作特性】HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮計量/~測量轉臺采用多項發明專利技術,進行超精密~高剛度結構設計和氣體潤滑與支承參數設計,使轉臺兼有很高的徑向、軸向和角回轉精度及高剛度特性;轉臺工作狀態平穩,在運動和定位狀態下均無氣體紊流振動、嘯叫、噪聲及高頻微振等。

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圓柱度測量儀是我公司生產的專業化、系列化產品之一,至今已有近三十余年的歷史。產品包括:大型圓柱度測量儀、精密/超精密型圓柱度測量儀、基/標準型圓柱度測量儀,已形成系列化產品,解決了多項國家重大裝備造項目中核心器部件的關鍵技術指標測量難題;并在我國航空航天、國防和精密裝備造領域得到廣泛的應用。與其直接相關的技術已獲100余項發明專利。此外,我公司可為客戶定制一些特殊需求的專用精密/超精密光機電一體化測量儀器、測試設備和試驗裝備等。