內(nèi)蒙古超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)定制
發(fā)布時(shí)間：2022-09-07 01:36:35
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由于SMEE的任務(wù)要求緊張，我公司僅用了三個(gè)月的時(shí)間完成了制造任務(wù)。2017年2月初，SMEE的質(zhì)量控制人員、設(shè)計(jì)人員、工藝人員在我公司進(jìn)行了驗(yàn)收測(cè)試，歷經(jīng)5天的時(shí)間完成了整個(gè)測(cè)試。產(chǎn)品經(jīng)過(guò)清潔、包裝等工作，于2017年2月15日由專(zhuān)車(chē)運(yùn)往上海。新春伊始北京大學(xué)教授、中國(guó)科學(xué)院程和平院士一行在完成了對(duì)哈工大的訪問(wèn)之后,于2017年2月15日,在譚久彬的陪同下到我公司參觀考察。程和平院士一行聽(tīng)取了譚久彬教授關(guān)于公司基礎(chǔ)能力、研發(fā)能力、生產(chǎn)能力、典型產(chǎn)品等情況的介紹，考察了極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝專(zhuān)項(xiàng)、國(guó)家重大科學(xué)儀器研發(fā)專(zhuān)項(xiàng)等的研制情況。
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調(diào)研組將通過(guò)調(diào)研，為國(guó)家制定支持裝備制造業(yè)振興的政策措施建言獻(xiàn)策，幫助解決發(fā)展中面臨的矛盾和問(wèn)題。萬(wàn)鋼指出，創(chuàng)新要有信心和決心，裝備制造業(yè)是黑龍江省的傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)和支柱產(chǎn)業(yè)，具有濃厚的產(chǎn)業(yè)文化、深厚的產(chǎn)業(yè)傳統(tǒng)、完善的產(chǎn)業(yè)隊(duì)伍和一個(gè)有利于產(chǎn)業(yè)發(fā)展的環(huán)境，進(jìn)而形成了綜合優(yōu)勢(shì)，再借助豐富的資源，就可以形成具有龍江特色的產(chǎn)業(yè)集群。他強(qiáng)調(diào)，要推動(dòng)產(chǎn)業(yè)走向高端，支持龍頭骨干企業(yè)，依托重大工程，著力提升自主創(chuàng)新、開(kāi)拓市場(chǎng)能力;支持新興產(chǎn)業(yè)搶占高峰，著力加強(qiáng)創(chuàng)新能力的建設(shè);要拉動(dòng)產(chǎn)業(yè)向“兩頭”延伸
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由我公司承擔(dān)的上海微電子裝備有限公司(SMEE)的光刻機(jī)計(jì)量框架和基礎(chǔ)框架制造任務(wù)于2017年2月13日通過(guò)預(yù)驗(yàn)收與交付，這標(biāo)志著我公司對(duì)于精密復(fù)雜構(gòu)件的制造能力提升至一個(gè)新的臺(tái)階。光刻機(jī)被稱(chēng)為“智能制造業(yè)中的珠穆朗瑪峰”，其中的計(jì)量框架是整個(gè)光刻機(jī)的工作基準(zhǔn)平臺(tái)，尺寸龐大(2.2m′1.9m)，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，僅定位銷(xiāo)孔一百二十多個(gè)；螺紋孔四百多個(gè)；基礎(chǔ)框架是整個(gè)光刻機(jī)的基本支持體，尺寸達(dá)2.75m′1.86m′1.37m，其螺紋孔有三百多個(gè)。計(jì)量框架與基礎(chǔ)框架中對(duì)任何加工部位的位置、形狀、尺寸、表面形貌等要求相當(dāng)高，正常的制造周期為6個(gè)月。
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圓柱度、直線度、垂直度、同軸度和同心度等幾何參量進(jìn)行測(cè)量，并能進(jìn)行相關(guān)分析?？蓮V泛用于航空航天、船舶、國(guó)防、汽車(chē)、軸承等各類(lèi)精密裝備***造領(lǐng)域?；鶞?zhǔn)型圓柱度測(cè)量?jī)x可用于計(jì)量部門(mén)，開(kāi)展圓柱度量值的傳遞與溯源工作儀器特色：超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)主軸精度是圓柱度儀回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的重要指標(biāo)。經(jīng)過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì)的圓柱度儀的空氣靜壓軸系采用本所專(zhuān)利技術(shù)，經(jīng)特殊加工工藝研制，因此保證了儀器主軸具有超精密級(jí)的軸向與徑向回轉(zhuǎn)精度(0.015~0.05μm)、角回轉(zhuǎn)精度(0.02~0.1″)和高承載與高剛度兼顧性能，保障了儀器具有高可靠性和長(zhǎng)久的使用壽命。
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用途HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)主要用于大型和超大型精密機(jī)械、光學(xué)精密零部件的幾何參量或部件及整機(jī)運(yùn)動(dòng)參量的計(jì)量檢測(cè)、以及大型精密裝備分系統(tǒng)和整機(jī)裝配測(cè)試等。規(guī)格與工作特性HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)臺(tái)面直徑范圍為①700mm～①3000，mm，設(shè)計(jì)有T型槽或固定子L的臺(tái)面形式，特殊需要可單獨(dú)定做；臺(tái)體承重從800kg到20000kg，（技術(shù)指標(biāo)見(jiàn)附表）。結(jié)構(gòu)與工作特性HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)配置精密氣浮軸系，兼有高回轉(zhuǎn)精度、高剛度和高承載能力等特點(diǎn)。轉(zhuǎn)臺(tái)高精度旋轉(zhuǎn)時(shí)無(wú)噪聲、無(wú)振動(dòng)、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)。