福州機械轉臺廠家
發(fā)布時間：2022-07-31 01:36:52
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陸昊省長和楊雄市長等領導考察了一批大型超精密儀器產品的中試與生產情況、市場化前景和與上海有關單位的合作情況。仔細觀看了一批產品樣機的演示，如國家重大科學儀器設備開發(fā)專項成果 “工業(yè)用共焦顯微鏡”、“隔振地基”“雙頻激光干涉儀”“生物醫(yī)學用共焦顯微鏡”、“大口徑非球面微結構測量用共焦顯微鏡”產品;大型高端發(fā)動機裝配測試系列產品 “兩截面大型超精密裝配/測量儀”、“四截面大型超精密裝配/測量儀”、“五截面大型超精密裝配/測量儀”和“超大型同軸度測量標準裝置”;“4米直徑超精密一體化氣浮研拋/測量機”和“超大型精密儀器及系統(tǒng)氣浮隔微振裝置”等。
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研究目的：研究一種多點并行曝光、且曝光面上各曝光點曝光可控及曝光強度宏微雙重可調的高分辨力的激光直接寫入新技術，以解決傳統(tǒng)激光直寫單點曝光制作效率低的問題，提高微陣列和微結構光學器件的制作效率。基本原理：多光斑可控并行激光直寫的基本思想是以微光學鏡陣列作為直寫物鏡，將寫入激光分別聚焦為多個高分辨力寫入光斑，以分散直寫任務;利用數(shù)字微鏡DMD控制各子光斑是否曝光，并采用聲光調制器進行宏微雙重調制寫入光強。
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基本原理：在傳統(tǒng)牛頓流體的雷諾方程基礎上，將惠普爾理論與壓力對數(shù)分布假設相結合，對傳統(tǒng)氣體潤滑理論進行修正和完善。建立基于動靜壓復合的超精密氣浮回轉基準(CTGB)的歸一化解析模型，在以剛度為目標函數(shù)的前提下，對結構參數(shù)進行全局優(yōu)化，從而得到基于動靜壓復合的超精密氣浮回轉基準的結構參數(shù)。科學意義及應用價值：對超精密氣浮回轉基準中動靜壓之間的耦合規(guī)律進行建模。解析表述了動靜壓之間的壓力耦合、結構耦合以及壓力與結構之間的交叉耦合。該技術大幅度提高了氣浮回轉基準的剛度、承載能力和抗擾動能力，提高了氣浮回轉基準的綜合性能。實驗表明：與傳統(tǒng)氣浮回轉基準(STGB)相比，承載能力提高4倍以上，剛度提高6倍以上，流量略有增大，性能曲線對比見Fig.1-3。
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HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮轉臺主要用于高精度機械、光學零部件等幾何參量和運動參量的計量檢測及分系統(tǒng)與整機裝配測試等?！疽?guī)格與工作特性】臺面直徑范圍為中200mm一中600mm，設計有T型槽或固定孔的臺面形式，特殊需要可單獨定做;臺體承重從100kg到600kgo【結構與工作特性】HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮計量/~測量轉臺采用多項發(fā)明專利技術，進行超精密~高剛度結構設計和氣體潤滑與支承參數(shù)設計，使轉臺兼有很高的徑向、軸向和角回轉精度及高剛度特性;轉臺工作狀態(tài)平穩(wěn)，在運動和定位狀態(tài)下均無氣體紊流振動、嘯叫、噪聲及高頻微振等。
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015年6月8日下午15:40至16:20，上海市市長楊雄一行在黑龍江省省長陸昊、哈爾濱市委書記陳海波，哈爾濱工業(yè)大學校長周玉等領導的陪同下來到哈爾濱超精密裝備工程技術中心有限公司進行考察。該公司是哈爾濱工業(yè)大學超精密光電儀器工程研究所在哈爾濱松北區(qū)建成的高端超精密儀器產業(yè)化基地。在考察過程中，譚久彬教授向陸昊省長和楊雄市長等領導詳細介紹了研究所與該產業(yè)化基地構成的產學研一體化運作模式，研究所完成的一批完全自主創(chuàng)新的大型高端超精密儀器研發(fā)成果在產業(yè)化方面取得的重要進展。