蘇州超精密氣浮轉臺公司
發布時間：2022-06-30 01:37:18
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科學意義及應用價值：建立起一種反映傾斜、位移、離焦和振動干擾等影響因素和作用規律的子孔徑干涉拼接測量模型，依據該測量模型，可建立起一種對上述影響因素有較強抑制能力的測量儀器，進而解決凸凹深度非球面測量問題。研究目的：研究一種超精密、超高速、大載荷、高剛度的氣浮回轉基準，解決傳統氣浮回轉基準承載能力小、剛度低、抗擾動能力差等問題，以期進一步提高氣浮回轉基準的回轉精度，提高抗擾動能力。
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由我公司承擔的上海微電子裝備有限公司(SMEE)的光刻機計量框架和基礎框架制造任務于2017年2月13日通過預驗收與交付，這標志著我公司對于精密復雜構件的制造能力提升至一個新的臺階。光刻機被稱為“智能制造業中的珠穆朗瑪峰”，其中的計量框架是整個光刻機的工作基準平臺，尺寸龐大(2.2m′1.9m)，結構復雜，僅定位銷孔一百二十多個；螺紋孔四百多個；基礎框架是整個光刻機的基本支持體，尺寸達2.75m′1.86m′1.37m，其螺紋孔有三百多個。計量框架與基礎框架中對任何加工部位的位置、形狀、尺寸、表面形貌等要求相當高，正常的制造周期為6個月。
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因此，高端通用試驗儀器設備。將集中力量，重點突破一批我國需求量大、嚴重依賴進口、價格昂貴的試驗儀器設備，攻克若干試驗儀器設備核心技術和關鍵部件，帶動重要領域試驗儀器設備整體水平提升，打破國外壟斷。第二，前沿重大試驗儀器設備。將依據我國在世界新一輪科技革命中的戰略部署，研發若干具有國際領先水平的重大試驗儀器設備，有效支撐我國開展世界一流科學研究、有特色科學研究，帶動高新技術產業發展。
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西方工業化發展了幾百年，摸索出的一條重要經驗就是通過市場和用戶的深度互動，對每一次優化創新進行確認，經過時間的打磨，最終形成本國制造的歷史積淀。“技可進乎道，藝可通乎神。”對產品不斷改進、創新和優化，是任何一家企業求得長遠發展的基本前提。200年前，德國人德萊斯發明了木質自行車，不經意間開啟了一個交通提速時代。如今，德國人越來越注重自己組裝自行車，腳踏板、鞍座和扶手等配件將根據騎車人的體形、使用習慣而定。
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HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮轉臺主要用于高精度機械、光學零部件等幾何參量和運動參量的計量檢測及分系統與整機裝配測試等。【規格與工作特性】臺面直徑范圍為中200mm一中600mm，設計有T型槽或固定孔的臺面形式，特殊需要可單獨定做;臺體承重從100kg到600kgo【結構與工作特性】HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮計量/~測量轉臺采用多項發明專利技術，進行超精密~高剛度結構設計和氣體潤滑與支承參數設計，使轉臺兼有很高的徑向、軸向和角回轉精度及高剛度特性;轉臺工作狀態平穩，在運動和定位狀態下均無氣體紊流振動、嘯叫、噪聲及高頻微振等。
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特征與優勢高精度回轉基準本儀器通過氣浮轉臺提供回轉基準，氣浮軸材料選用優質合金鋼經滲氮處理，既具有高精度、耐磨性、高硬度又具有防銹功能.調心調傾工作臺調心調傾工作臺安裝到氣浮轉臺的臺面上，具有調心和調傾功能，具有剛度高、精度高、結構堅固耐用的特點.雙橫臂自動升降立柱由橫臂及立柱機構組成主要功能是固定傳感器的空間位置.立柱可自動或手動升降，水平運動可手動進行快速大范圍調整同時可以微調.通過傳感器夾持機構可將傳感器在測量平面一定范圍內任意調整姿態，并可以測量內孔.