大連超精密氣浮轉(zhuǎn)臺定制
發(fā)布時間：2022-06-29 01:37:18
大連超精密氣浮轉(zhuǎn)臺定制
大深徑比測量與高精度的統(tǒng)一突破了微深孔徑測量技術(shù),無論對單- -微結(jié)構(gòu)還是宏觀器件的微結(jié)構(gòu)，均可實現(xiàn)超精密級的測量。自動測量與數(shù)據(jù)分析軟件為客戶量身定制的專業(yè)測量軟件,可以實現(xiàn)工件的自動測量與數(shù)據(jù)分析,大幅提升測量效率。本土化產(chǎn)品快速供應相比國外同類產(chǎn)品具有更優(yōu)異的性能,核心部件全部國產(chǎn)化，60-80個工作日即可供貨,在最短的供貨時間內(nèi),提供最優(yōu)質(zhì)的服務。專家級成套解決方案超精密級測量儀器的測量精度常被工作環(huán)境、對象等吞沒。依托本公司超精密儀器與裝備工程專家團隊,可提供超精密測量成套解決方案。
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科學意義及應用價值：融合了衍射光學技術(shù)和超分辨光瞳濾波技術(shù)的各自特性，其與傳統(tǒng)的環(huán)形透鏡式共焦測量系統(tǒng)相比，在達到同等橫向分辨力的情況下，由于整形環(huán)形光技術(shù)的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強度響應中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍，同時環(huán)形透鏡內(nèi)環(huán)邊緣的衍射對測量系統(tǒng)造成的影響，橫向分辨力優(yōu)于0.2μm。本技術(shù)涉及光學掃描顯微成像及微觀掃描測量技術(shù)領(lǐng)域，可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細結(jié)構(gòu)、微臺階、微構(gòu)槽、集成電路線寬等。
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基本原理：在傳統(tǒng)牛頓流體的雷諾方程基礎(chǔ)上，將惠普爾理論與壓力對數(shù)分布假設(shè)相結(jié)合，對傳統(tǒng)氣體潤滑理論進行修正和完善。建立基于動靜壓復合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(CTGB)的歸一化解析模型，在以剛度為目標函數(shù)的前提下，對結(jié)構(gòu)參數(shù)進行全局優(yōu)化，從而得到基于動靜壓復合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準的結(jié)構(gòu)參數(shù)。科學意義及應用價值：對超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準中動靜壓之間的耦合規(guī)律進行建模。解析表述了動靜壓之間的壓力耦合、結(jié)構(gòu)耦合以及壓力與結(jié)構(gòu)之間的交叉耦合。該技術(shù)大幅度提高了氣浮回轉(zhuǎn)基準的剛度、承載能力和抗擾動能力，提高了氣浮回轉(zhuǎn)基準的綜合性能。實驗表明：與傳統(tǒng)氣浮回轉(zhuǎn)基準(STGB)相比，承載能力提高4倍以上，剛度提高6倍以上，流量略有增大，性能曲線對比見Fig.1-3。
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即向上下游產(chǎn)業(yè)延伸、產(chǎn)品要向研發(fā)設(shè)計的高端和用戶服務延伸;要著力發(fā)展高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)集群，重點支持創(chuàng)新成果的產(chǎn)業(yè)化和商品化;要促進生產(chǎn)型、科技型服務業(yè)發(fā)展，特別要加強在研發(fā)資源共享、技術(shù)交易、孵化器等方面的工作力度;創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)的根本是人才，要想盡辦法留住工程技術(shù)、管理、技術(shù)工人等各類人才。座談會上，郝會龍向調(diào)研組匯報了我省裝備制造業(yè)的基本情況、發(fā)展特點、主要工作和成果以及面臨的主要問題。建議國家進一步統(tǒng)籌裝備制造業(yè)發(fā)展布局;支持黑龍江省發(fā)展股份合作農(nóng)業(yè)和農(nóng)業(yè)產(chǎn)業(yè)化經(jīng)營;