江蘇超精密氣浮轉臺公司
發布時間:2022-06-28 01:37:14
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基本原理:干涉儀對深度非球面元件進行多次局部檢測,兩次測量區域之間有一定的重疊。將每兩次檢測重疊部分的相位值經過擬合統一到一個曲面上,這樣可不斷地將測量范圍擴大,從而獲得整個待測元件表面輪廓。拼接的理論依據是在重疊區域內,兩次測量得到的波前相位值是一致的,即兩次測量相位數據位于同一個曲面上。而在實際測量過程中,則需要傾斜、位移、離焦和振動干擾等誤差影響,并依據一種高精度的多子孔徑干涉拼接測量模型,實現全域凸凹深度非球面形狀的測量與評定。

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科學意義及應用價值:融合了衍射光學技術和超分辨光瞳濾波技術的各自特性,其與傳統的環形透鏡式共焦測量系統相比,在達到同等橫向分辨力的情況下,由于整形環形光技術的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強度響應中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍,同時環形透鏡內環邊緣的衍射對測量系統造成的影響,橫向分辨力優于0.2μm。本技術涉及光學掃描顯微成像及微觀掃描測量技術領域,可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細結構、微臺階、微構槽、集成電路線寬等。

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HUE-T231大型高速回轉裝備超精密裝配測量儀(單立柱雙通道)由哈爾濱工業大學、哈爾濱超精密裝備工程技術中心有限公司聯合開發。主要用于航空發動機、艦船發動機和電站燃機機匣、轉子、葉盤組件,盤、軸類零件和回轉體零部件的跳動、極值位置、同心度、圓度、平面度、垂直度和同軸度的檢測,并對檢測數據進行記錄、存儲、并建立數據庫,通過計算機對誤差數據進行評價和分析,***終得出正確的測量結果并出具測試報告。

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精密檢測儀器與我們的日常生活息息相關,但很多人對此并不甚了解。精密檢測儀器自上世紀九十年代起開始在國內被廣泛使用,成為檢測工業產品必備的設備。在經歷了簡單的投影儀、二次元影像測量儀、高端三坐標測量機這三個發展階段之后,目前的精密檢測儀器更加趨向于智能化、自動化和集成化,解決了人工肉精密檢測儀器與我們的日常生活息息相關,但很多人對此并不甚了解。精密檢測儀器自上世紀九十年代起開始在國內被廣泛使用,成為檢測工業產品必備的設備。

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大深徑比測量與高精度的統一突破了微深孔徑測量技術,無論對單- -微結構還是宏觀器件的微結構,均可實現超精密級的測量。自動測量與數據分析軟件為客戶量身定制的專業測量軟件,可以實現工件的自動測量與數據分析,大幅提升測量效率。本土化產品快速供應相比國外同類產品具有更優異的性能,核心部件全部國產化,60-80個工作日即可供貨,在最短的供貨時間內,提供最優質的服務。專家級成套解決方案超精密級測量儀器的測量精度常被工作環境、對象等吞沒。依托本公司超精密儀器與裝備工程專家團隊,可提供超精密測量成套解決方案。