齊齊哈爾超精密氣浮轉(zhuǎn)臺公司
發(fā)布時間：2022-04-25 01:38:49
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HUE--D1331系列超精密氣浮導(dǎo)軌主要用于高精度測量儀器、光學(xué)檢測儀器、精密/超精密光機(jī)電一體化裝備、精密/超精密機(jī)床等先進(jìn)裝備制造領(lǐng)域，是精密/超精密儀器與制造裝備中保證高精度直線運(yùn)動導(dǎo)向和定位的關(guān)鍵部件。HHUE--D1331氣浮導(dǎo)軌已成系列，其有效行程從50mm至3000mm截面尺寸主要從50mm×50mm至250mm×350mm(見表2);該系列氣浮導(dǎo)軌具有優(yōu)異的直線運(yùn)動精度和良好的剛度，直線運(yùn)動誤差小于0.03μm~0.1μm/50mm，0.05μm~0.2μm/100mm等。特殊需求可單獨(dú)設(shè)計。
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基本原理：干涉儀對深度非球面元件進(jìn)行多次局部檢測，兩次測量區(qū)域之間有一定的重疊。將每兩次檢測重疊部分的相位值經(jīng)過擬合統(tǒng)一到一個曲面上，這樣可不斷地將測量范圍擴(kuò)大，從而獲得整個待測元件表面輪廓。拼接的理論依據(jù)是在重疊區(qū)域內(nèi)，兩次測量得到的波前相位值是一致的，即兩次測量相位數(shù)據(jù)位于同一個曲面上。而在實(shí)際測量過程中，則需要傾斜、位移、離焦和振動干擾等誤差影響，并依據(jù)一種高精度的多子孔徑干涉拼接測量模型，實(shí)現(xiàn)全域凸凹深度非球面形狀的測量與評定。
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該卡盤精度高、性能穩(wěn)定可靠、操作方便，在航空發(fā)動機(jī)制造、裝調(diào)檢測和維修領(lǐng)域的應(yīng)用中得到普遍認(rèn)可。該液壓卡盤傳遞力可在<8MPa內(nèi)進(jìn)行調(diào)整，對工件的重復(fù)裝卡精度可達(dá)2~3μm;卡口尺寸按照用戶要求設(shè)計制造。轉(zhuǎn)接盤航空發(fā)動機(jī)裝配專用轉(zhuǎn)接盤裝置，是根據(jù)發(fā)動機(jī)轉(zhuǎn)子部件的結(jié)構(gòu)尺寸和裝配工藝而專門設(shè)計制造的，使用中將其安裝在超精密氣浮轉(zhuǎn)臺上，并將相匹配的裝配件通過止口固定其上，即可進(jìn)行裝配、檢測(如圖所示)。
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適用于實(shí)驗室和車間環(huán)境;電壓：220V或380V交流電壓，50Hz;氣源：0.4MPa的過濾干燥空氣;溫度：20℃±5℃;濕度：<60%;其他：避免酸堿等腐蝕性氣體浸蝕HUE--D1331系列超精密氣浮導(dǎo)軌主要采用花崗巖、金屬或陶瓷制作，配有精密導(dǎo)軌基體、氣浮套和高潔凈空氣凈化器。采用多項發(fā)明專利技術(shù)進(jìn)行高精度、高剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計和氣體潤滑及支撐參數(shù)設(shè)計，使導(dǎo)軌兼有高精度、高剛度和高承載的特點(diǎn);并使導(dǎo)軌工作狀態(tài)平穩(wěn)，在運(yùn)動和定位狀態(tài)下均無氣體紊流振動、嘯叫、噪聲及高頻微振等。控制特性分為有驅(qū)動和無驅(qū)動兩種，按其需要進(jìn)行驅(qū)動配置。