天津超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)廠(chǎng)家
發(fā)布時(shí)間：2022-03-13 01:41:23
天津超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)廠(chǎng)家
超精密氣浮直線(xiàn)基準(zhǔn)圓柱度和直線(xiàn)度的測(cè)量，不僅要求儀器主軸的回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)精度高，直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)基準(zhǔn)的精度要求也非常高。經(jīng)過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì)的圓柱度儀導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，提供了極高的直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)精度(0.05~0.1μm/100mm)，在整體結(jié)構(gòu)上進(jìn)行了精心設(shè)計(jì)，保障了儀器整體具有非常高的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。穩(wěn)定的花崗巖基座圓柱度儀的基座采用天然花崗巖材質(zhì)，經(jīng)過(guò)億萬(wàn)年老化沉積，花崗巖材質(zhì)質(zhì)地均勻，強(qiáng)度高，應(yīng)力變形小，對(duì)溫度敏感性小。經(jīng)過(guò)精加工保證各零、部件的機(jī)械位置，基座具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和剛度。
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在保證焦斑質(zhì)量的同時(shí)，可獲得大的曝光區(qū)域;引入光強(qiáng)宏微雙重調(diào)制裝置，提高了曝光光強(qiáng)的調(diào)制分辨力，從而解決控制輪廓精度的問(wèn)題;通過(guò)空間光調(diào)制器依據(jù)像素部對(duì)寫(xiě)入激光分束，解決了多光路并行同步直寫(xiě)光束的控制問(wèn)題。該技術(shù)特別適用于微陣列和微結(jié)構(gòu)光學(xué)器件制作，具有大范圍、高精度激光寫(xiě)入的優(yōu)點(diǎn)。研究目的：研究一種基于多個(gè)子孔徑干涉拼接的全域非球面超精密測(cè)量技術(shù)，解決干涉儀測(cè)量范圍受限和分辨率受限問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)局部變化較大的凸凹面深度非球面面型的高精度測(cè)量。
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李力一行還考察了可調(diào)諧(氣體)激光重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，聽(tīng)取了實(shí)驗(yàn)室主要研究方向、研究?jī)?nèi)容介紹。李力肯定了項(xiàng)目進(jìn)展情況，并鼓勵(lì)科研人員努力工作，確保項(xiàng)目順利完成。為做好國(guó)家首批國(guó)家重大科學(xué)儀器開(kāi)發(fā)專(zhuān)項(xiàng)項(xiàng)目驗(yàn)收工作，6月26日至27日，科技部科研條件與財(cái)務(wù)司副司長(zhǎng)吳學(xué)梯、工業(yè)和信息化部科技司副司長(zhǎng)李力先后來(lái)我公司考察，了解我公司的國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專(zhuān)項(xiàng)項(xiàng)目。工業(yè)和信息化部、省工信委相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)，我公司董事長(zhǎng)等參加現(xiàn)場(chǎng)考察。
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HUE--D1331系列超精密氣浮導(dǎo)軌主要用于高精度測(cè)量?jī)x器、光學(xué)檢測(cè)儀器、精密/超精密光機(jī)電一體化裝備、精密/超精密機(jī)床等先進(jìn)裝備制造領(lǐng)域，是精密/超精密儀器與制造裝備中保證高精度直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向和定位的關(guān)鍵部件。HHUE--D1331氣浮導(dǎo)軌已成系列，其有效行程從50mm至3000mm截面尺寸主要從50mm×50mm至250mm×350mm(見(jiàn)表2);該系列氣浮導(dǎo)軌具有優(yōu)異的直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)精度和良好的剛度，直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)誤差小于0.03μm~0.1μm/50mm，0.05μm~0.2μm/100mm等。特殊需求可單獨(dú)設(shè)計(jì)。