西安超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)廠家
發(fā)布時(shí)間：2022-03-11 01:41:14
西安超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)廠家
圓柱度、直線度、垂直度、同軸度和同心度等幾何參量進(jìn)行測量，并能進(jìn)行相關(guān)分析。可廣泛用于航空航天、船舶、國防、汽車、軸承等各類精密裝備***造領(lǐng)域。基準(zhǔn)型圓柱度測量儀可用于計(jì)量部門，開展圓柱度量值的傳遞與溯源工作儀器特色：超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)主軸精度是圓柱度儀回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的重要指標(biāo)。經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計(jì)的圓柱度儀的空氣靜壓軸系采用本所專利技術(shù)，經(jīng)特殊加工工藝研制，因此保證了儀器主軸具有超精密級(jí)的軸向與徑向回轉(zhuǎn)精度(0.015~0.05μm)、角回轉(zhuǎn)精度(0.02~0.1″)和高承載與高剛度兼顧性能，保障了儀器具有高可靠性和長久的使用壽命。
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因此，高端通用試驗(yàn)儀器設(shè)備。將集中力量，重點(diǎn)突破一批我國需求量大、嚴(yán)重依賴進(jìn)口、價(jià)格昂貴的試驗(yàn)儀器設(shè)備，攻克若干試驗(yàn)儀器設(shè)備核心技術(shù)和關(guān)鍵部件，帶動(dòng)重要領(lǐng)域試驗(yàn)儀器設(shè)備整體水平提升，打破國外壟斷。第二，前沿重大試驗(yàn)儀器設(shè)備。將依據(jù)我國在世界新一輪科技革命中的戰(zhàn)略部署，研發(fā)若干具有國際領(lǐng)先水平的重大試驗(yàn)儀器設(shè)備，有效支撐我國開展世界一流科學(xué)研究、有特色科學(xué)研究，帶動(dòng)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
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超精密氣浮直線基準(zhǔn)圓柱度和直線度的測量，不僅要求儀器主軸的回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)精度高，直線運(yùn)動(dòng)基準(zhǔn)的精度要求也非常高。經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計(jì)的圓柱度儀導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，提供了極高的直線運(yùn)動(dòng)精度(0.05~0.1μm/100mm)，在整體結(jié)構(gòu)上進(jìn)行了精心設(shè)計(jì)，保障了儀器整體具有非常高的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。穩(wěn)定的花崗巖基座圓柱度儀的基座采用天然花崗巖材質(zhì)，經(jīng)過億萬年老化沉積，花崗巖材質(zhì)質(zhì)地均勻，強(qiáng)度高，應(yīng)力變形小，對溫度敏感性小。經(jīng)過精加工保證各零、部件的機(jī)械位置，基座具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和剛度。
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其原理如圖所示。寫入激光經(jīng)過調(diào)制穩(wěn)光、準(zhǔn)直擴(kuò)束后，平行入射到DMD上，被其調(diào)制編碼、分束成獨(dú)立的光陣列;再經(jīng)4?空間濾波系統(tǒng)濾波后，被微光學(xué)陣列中相匹配的子鏡聚焦到涂有光刻膠的基底平臺(tái)上，從而實(shí)現(xiàn)寫入曝光;在寫入光被調(diào)制的同時(shí)，基底平臺(tái)作光柵或回轉(zhuǎn)掃描，實(shí)現(xiàn)微陣列和微結(jié)構(gòu)光學(xué)器件的曝光制作。科學(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值：利用微光學(xué)陣列替換傳統(tǒng)的直寫物鏡，實(shí)現(xiàn)多光路并行同步寫入，有效提高了寫入效率;同時(shí)由于微光學(xué)透鏡與傳統(tǒng)物鏡相比，像差小、制作容易、易獲得大數(shù)值孔徑，可極大地提高寫入分辨力。