貴陽超精密氣浮轉臺廠家
發(fā)布時間：2023-01-27 01:34:13
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015年6月8日下午15:40至16:20，上海市市長楊雄一行在黑龍江省省長陸昊、哈爾濱市委書記陳海波，哈爾濱工業(yè)大學校長周玉等領導的陪同下來到哈爾濱超精密裝備工程技術中心有限公司進行考察。該公司是哈爾濱工業(yè)大學超精密光電儀器工程研究所在哈爾濱松北區(qū)建成的高端超精密儀器產(chǎn)業(yè)化基地。在考察過程中，譚久彬教授向陸昊省長和楊雄市長等領導詳細介紹了研究所與該產(chǎn)業(yè)化基地構成的產(chǎn)學研一體化運作模式，研究所完成的一批完全自主創(chuàng)新的大型高端超精密儀器研發(fā)成果在產(chǎn)業(yè)化方面取得的重要進展。
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由我公司承擔的上海微電子裝備有限公司(SMEE)的光刻機計量框架和基礎框架制造任務于2017年2月13日通過預驗收與交付，這標志著我公司對于精密復雜構件的制造能力提升至一個新的臺階。光刻機被稱為“智能制造業(yè)中的珠穆朗瑪峰”，其中的計量框架是整個光刻機的工作基準平臺，尺寸龐大(2.2m′1.9m)，結構復雜，僅定位銷孔一百二十多個；螺紋孔四百多個；基礎框架是整個光刻機的基本支持體，尺寸達2.75m′1.86m′1.37m，其螺紋孔有三百多個。計量框架與基礎框架中對任何加工部位的位置、形狀、尺寸、表面形貌等要求相當高，正常的制造周期為6個月。
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核心技術指標通過國家量儀產(chǎn)品質量監(jiān)督檢驗中心檢測主要核心技術指標達到國際同類產(chǎn)品領先水平我公司該產(chǎn)品目前已有18種適應不同應用場合的的型號產(chǎn)品; 在航天、國防和高端超精密裝備制造領域有廣泛應用，可解決我國高端超精密裝備研制、生產(chǎn)和使用中的隔微振技術難題。隨著我國的裝備制造業(yè)向中高端發(fā)展，HUE-G2631將在我國發(fā)展該類高端超精密裝備發(fā)揮重大作用。航天發(fā)動機、航空發(fā)動機、汽車發(fā)動機陣列式氣膜微孔、燃料微噴嘴氣浮設備陣列式微孔氣足、陣列式節(jié)流微孔光東引導微口徑約束、針孔光闌m科學實驗研究校準溯源、工藝改進
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超精密氣浮直線基準圓柱度和直線度的測量，不僅要求儀器主軸的回轉基準精度高，直線運動基準的精度要求也非常高。經(jīng)過優(yōu)化設計的圓柱度儀導軌結構，提供了極高的直線運動精度(0.05~0.1μm/100mm)，在整體結構上進行了精心設計，保障了儀器整體具有非常高的結構穩(wěn)定性。穩(wěn)定的花崗巖基座圓柱度儀的基座采用天然花崗巖材質，經(jīng)過億萬年老化沉積，花崗巖材質質地均勻，強度高，應力變形小，對溫度敏感性小。經(jīng)過精加工保證各零、部件的機械位置，基座具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和剛度。
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HUE-X931是哈爾濱工業(yè)大學、哈爾濱超精密裝備工程技術中心有限公司聯(lián)合開發(fā)的新一代高空間分辨率光學共焦顯微鏡。 產(chǎn)品系大型高端科學儀器，綜合了國內(nèi)外優(yōu)勢技術方案，技術密集度極高，能夠實現(xiàn)對各類樣品表面微結構的高分辨率三維測量。使用環(huán)境，溫度要求：20℃±1℃;濕度要求：小于60%RH;隔振要求：儀器應放在隔振基礎上，周圍無劇烈振動和沖擊;電磁場要求：使用現(xiàn)場周圍無強電磁干擾。