太原超精密氣浮轉臺公司
發布時間：2023-01-25 01:34:26
太原超精密氣浮轉臺公司
HUE--D1331系列超精密氣浮導軌主要用于高精度測量儀器、光學檢測儀器、精密/超精密光機電一體化裝備、精密/超精密機床等先進裝備制造領域，是精密/超精密儀器與制造裝備中保證高精度直線運動導向和定位的關鍵部件。HHUE--D1331氣浮導軌已成系列，其有效行程從50mm至3000mm截面尺寸主要從50mm×50mm至250mm×350mm(見表2);該系列氣浮導軌具有優異的直線運動精度和良好的剛度，直線運動誤差小于0.03μm~0.1μm/50mm，0.05μm~0.2μm/100mm等。特殊需求可單獨設計。
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研究目的：研究一種多點并行曝光、且曝光面上各曝光點曝光可控及曝光強度宏微雙重可調的高分辨力的激光直接寫入新技術，以解決傳統激光直寫單點曝光制作效率低的問題，提高微陣列和微結構光學器件的制作效率。基本原理：多光斑可控并行激光直寫的基本思想是以微光學鏡陣列作為直寫物鏡，將寫入激光分別聚焦為多個高分辨力寫入光斑，以分散直寫任務;利用數字微鏡DMD控制各子光斑是否曝光，并采用聲光調制器進行宏微雙重調制寫入光強。
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精密檢測儀器與我們的日常生活息息相關，但很多人對此并不甚了解。精密檢測儀器自上世紀九十年代起開始在國內被廣泛使用，成為檢測工業產品必備的設備。在經歷了簡單的投影儀、二次元影像測量儀、高端三坐標測量機這三個發展階段之后，目前的精密檢測儀器更加趨向于智能化、自動化和集成化，解決了人工肉精密檢測儀器與我們的日常生活息息相關，但很多人對此并不甚了解。精密檢測儀器自上世紀九十年代起開始在國內被廣泛使用，成為檢測工業產品必備的設備。
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由于SMEE的任務要求緊張，我公司僅用了三個月的時間完成了制造任務。2017年2月初，SMEE的質量控制人員、設計人員、工藝人員在我公司進行了驗收測試，歷經5天的時間完成了整個測試。產品經過清潔、包裝等工作，于2017年2月15日由專車運往上海。新春伊始北京大學教授、中國科學院程和平院士一行在完成了對哈工大的訪問之后,于2017年2月15日,在譚久彬的陪同下到我公司參觀考察。程和平院士一行聽取了譚久彬教授關于公司基礎能力、研發能力、生產能力、典型產品等情況的介紹，考察了極大規模集成電路制造裝備及成套工藝專項、國家重大科學儀器研發專項等的研制情況。