甘肅航空發(fā)動(dòng)機(jī)測(cè)試儀公司
發(fā)布時(shí)間:2023-01-18 01:34:17
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特征與優(yōu)勢(shì)高精度回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)本儀器通過(guò)氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)提供回轉(zhuǎn)基準(zhǔn),氣浮軸材料選用優(yōu)質(zhì)合金鋼經(jīng)滲氮處理,既具有高精度、耐磨性、高硬度又具有防銹功能.調(diào)心調(diào)傾工作臺(tái)調(diào)心調(diào)傾工作臺(tái)安裝到氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的臺(tái)面上,具有調(diào)心和調(diào)傾功能,具有剛度高、精度高、結(jié)構(gòu)堅(jiān)固耐用的特點(diǎn).雙橫臂自動(dòng)升降立柱由橫臂及立柱機(jī)構(gòu)組成主要功能是固定傳感器的空間位置.立柱可自動(dòng)或手動(dòng)升降,水平運(yùn)動(dòng)可手動(dòng)進(jìn)行快速大范圍調(diào)整同時(shí)可以微調(diào).通過(guò)傳感器夾持機(jī)構(gòu)可將傳感器在測(cè)量平面一定范圍內(nèi)任意調(diào)整姿態(tài),并可以測(cè)量?jī)?nèi)孔.

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由于SMEE的任務(wù)要求緊張,我公司僅用了三個(gè)月的時(shí)間完成了制造任務(wù)。2017年2月初,SMEE的質(zhì)量控制人員、設(shè)計(jì)人員、工藝人員在我公司進(jìn)行了驗(yàn)收測(cè)試,歷經(jīng)5天的時(shí)間完成了整個(gè)測(cè)試。產(chǎn)品經(jīng)過(guò)清潔、包裝等工作,于2017年2月15日由專車運(yùn)往上海。新春伊始北京大學(xué)教授、中國(guó)科學(xué)院程和平院士一行在完成了對(duì)哈工大的訪問(wèn)之后,于2017年2月15日,在譚久彬的陪同下到我公司參觀考察。程和平院士一行聽(tīng)取了譚久彬教授關(guān)于公司基礎(chǔ)能力、研發(fā)能力、生產(chǎn)能力、典型產(chǎn)品等情況的介紹,考察了極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝專項(xiàng)、國(guó)家重大科學(xué)儀器研發(fā)專項(xiàng)等的研制情況。

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科學(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值:融合了衍射光學(xué)技術(shù)和超分辨光瞳濾波技術(shù)的各自特性,其與傳統(tǒng)的環(huán)形透鏡式共焦測(cè)量系統(tǒng)相比,在達(dá)到同等橫向分辨力的情況下,由于整形環(huán)形光技術(shù)的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強(qiáng)度響應(yīng)中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍,同時(shí)環(huán)形透鏡內(nèi)環(huán)邊緣的衍射對(duì)測(cè)量系統(tǒng)造成的影響,橫向分辨力優(yōu)于0.2μm。本技術(shù)涉及光學(xué)掃描顯微成像及微觀掃描測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域,可用于測(cè)量樣品的三維表面形貌、三維微細(xì)結(jié)構(gòu)、微臺(tái)階、微構(gòu)槽、集成電路線寬等。

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為做好國(guó)家首批國(guó)家重大科學(xué)儀器開(kāi)發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目驗(yàn)收工作,6月26日至27日,科技部科研條件與財(cái)務(wù)司副司長(zhǎng)吳學(xué)梯、工業(yè)和信息化部科技司副司長(zhǎng)李力先后來(lái)我公司考察,了解我公司的國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目。工業(yè)和信息化部、省工信委相關(guān)領(lǐng)導(dǎo),我公司董事長(zhǎng)等參加現(xiàn)場(chǎng)考察。吳學(xué)梯在考察時(shí)強(qiáng)調(diào)了國(guó)家實(shí)施創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略的重要意義和迫切性,詳細(xì)了解了譚久彬教授所承擔(dān)的“超高分辨率反射式立體層析共焦顯微鏡研制”項(xiàng)目在核心技術(shù)突破、工程樣機(jī)和產(chǎn)品樣機(jī)研制、測(cè)試驗(yàn)證、第三方異地測(cè)試的準(zhǔn)備、產(chǎn)業(yè)前景和產(chǎn)業(yè)化途徑、知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)、標(biāo)準(zhǔn)制定以及經(jīng)費(fèi)使用等方面的進(jìn)展情況。

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省委常委、副省長(zhǎng)郝會(huì)龍出席會(huì)議并匯報(bào),會(huì)議由省委常委、統(tǒng)戰(zhàn)部長(zhǎng)趙敏主持。萬(wàn)鋼對(duì)黑龍江省省委、省政府為裝備制造業(yè)技術(shù)創(chuàng)新和結(jié)構(gòu)調(diào)整給與的高度重視和有力支持,以及黑龍江省在裝備制造業(yè)發(fā)展中取得的成績(jī)給與充分肯定。他說(shuō),為推動(dòng)經(jīng)濟(jì)社會(huì)穩(wěn)步發(fā)展,每年各民主黨派中央都要開(kāi)展年度重點(diǎn)調(diào)研。今年,致公黨中央圍繞全面深化改革,將“創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)促進(jìn)裝備制造業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整”作為年度重點(diǎn)調(diào)研課題,原因在于裝備制造業(yè)是實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)方式轉(zhuǎn)變和推進(jìn)傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)改造升級(jí)的根本手段,也是科技成果轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)力的橋梁和通道。

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基本原理:干涉儀對(duì)深度非球面元件進(jìn)行多次局部檢測(cè),兩次測(cè)量區(qū)域之間有一定的重疊。將每?jī)纱螜z測(cè)重疊部分的相位值經(jīng)過(guò)擬合統(tǒng)一到一個(gè)曲面上,這樣可不斷地將測(cè)量范圍擴(kuò)大,從而獲得整個(gè)待測(cè)元件表面輪廓。拼接的理論依據(jù)是在重疊區(qū)域內(nèi),兩次測(cè)量得到的波前相位值是一致的,即兩次測(cè)量相位數(shù)據(jù)位于同一個(gè)曲面上。而在實(shí)際測(cè)量過(guò)程中,則需要傾斜、位移、離焦和振動(dòng)干擾等誤差影響,并依據(jù)一種高精度的多子孔徑干涉拼接測(cè)量模型,實(shí)現(xiàn)全域凸凹深度非球面形狀的測(cè)量與評(píng)定。